[实用新型]一种真空镀膜设备电子枪装置有效
申请号: | 201822233014.4 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209266348U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 张胜利 | 申请(专利权)人: | 镇江超威纳米科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/07 | 分类号: | H01J37/07 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212211 江苏省镇江市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却水 保护壳 缓冲腔 真空镀膜设备 电子枪装置 冷却效果 法兰盘 冷却管 螺纹孔 本实用新型 表面固定 内壁螺纹 出水管 电子枪 冷却液 螺纹杆 上表面 右侧面 下端 冷却 贯穿 延伸 流动 | ||
本实用新型涉及电子枪技术领域,且公开了一种真空镀膜设备电子枪装置,包括保护壳,所述保护壳的表面固定连接有法兰盘,所述法兰盘的上表面开设有螺纹孔,且螺纹孔贯穿并延伸至法兰盘的下端,所述螺纹孔的内壁螺纹连接有螺纹杆,所述保护壳表面的顶部固定连接有第一缓冲腔,所述第一缓冲腔的右侧面固定连接有出水管。该真空镀膜设备电子枪装置,冷却水在冷却管中流动的距离增长使得冷却水带走保护壳的热量越多,且通过第二缓冲腔内的冷却水,可以对在冷却管内部冷却水进行第二重冷却效果,第一缓冲腔内的冷却液可以带走冷却管内部冷却水的热量,使得在同样的冷却能率的情况下冷却效果更好,从而可以实现冷却效果好的目的。
技术领域
本实用新型涉及电子枪技术领域,具体为一种真空镀膜设备电子枪装置。
背景技术
真空镀膜一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性,在电子枪是真空镀膜中不可缺少的加工装置。
然而现有技术中电子枪的冷却装置,均是简单的在电子枪的阳极端套接有水管来对电子枪进行冷却,这种冷却方式不仅浪费资源,且与电子枪阳极的接触少冷却效果差。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种真空镀膜设备电子枪装置,具备冷却效果好等优点,解决了冷却效果差的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜设备电子枪装置,包括保护壳,所述保护壳的表面固定连接有法兰盘,所述法兰盘的上表面开设有螺纹孔,且螺纹孔贯穿并延伸至法兰盘的下端,所述螺纹孔的内壁螺纹连接有螺纹杆,所述保护壳表面的顶部固定连接有第一缓冲腔,所述第一缓冲腔的右侧面固定连接有出水管,且出水管贯穿并连通至第一缓冲腔的内部,所述第一缓冲腔的下表面固定连接有第一隔板,所述第一隔板的上表面开设有出水孔,所述出水管贯穿并连通第一隔板的下端,所述第一隔板的下表面开设有第一通槽,所述第一隔板的下表面固定连接有冷却管,所述冷却管的内壁固定连接有第一导热板,所述第一导热板固定连接在保护壳的表面,且第一导热板固定连接在第一隔板的下表面,所述第一导热板的下表面固定连接有第二隔板,且第二隔板固定连接在冷却管的下表面,所述冷却管的内壁固定连接有第二导热板,所述第二导热板固定连接在保护壳的表面,且第二导热板固定连接在第二隔板的下表面,所述第二导热板的下表面与第二隔板的上表面固定连接,所述第二隔板的上表面开设有进水孔,所述进水孔贯穿并连通第二隔板的下端,所述第二隔板的上表面开设有第二通槽,所述第二隔板的下表面固定连接有第二缓冲腔,所述第二缓冲腔的右侧面固定连接有进水管,且进水管与第二缓冲腔的内部相连通。
优选的,所述第一导热板与第二导热板大小相等。
优选的,所述进水孔位于第二导热板的左方,且出水孔位于第二导热板的右方。
优选的,所述第一通槽的数量为四个,且第二通槽的数量为五个。
优选的,所述第一导热板的一端分别与第一隔板相对应第一通槽的下表面和第二隔板相对应第二通槽的上表面中的一个固定连接。
优选的,所述第一通槽和第二通槽相互交错设置。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种真空镀膜设备电子枪装置,具备以下有益效果:
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