[实用新型]一种声表滤波器有效
申请号: | 201822233054.9 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209201028U | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 董启明 | 申请(专利权)人: | 河北时硕微芯科技有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/64 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 杨玉廷 |
地址: | 065300 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 换能器 散射结构 金属条 声表滤波器 滤波器 带外抑制 方向设置 基片端面 金属薄膜 通带波动 信号传输 信号发生 锯齿状 散射 寄生 侧边 等电 杂波 反射 申请 垂直 侧面 制作 优化 | ||
本申请公开了一种声表滤波器,包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器,所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。所述散射结构为金属条,所述金属条面向所述换能器的侧面呈锯齿状。本申请的有益效果是通过在基片上设置换能器以及金属条结构的散射结构,使得经过所述散射结构的信号发生散射,进而避免了信号经基片端面反射后直接进入换能器内部而产生较大寄生杂波的影响,优化了滤波器的通带波动、带外抑制等电性能指标。
技术领域
本公开一般涉及滤波器领域,具体涉及一种声表滤波器。
背景技术
扇形换能器结构的声表滤波器的特点是相对带宽宽,插入损耗一般在15dB左右,带外抑制一般在45dB左右。滤波器相对带宽较宽时,寄生杂波的影响会更突出,滤波器的通带波动、带外抑制也会随之恶化。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种声表滤波器。
第一方面本申请提供一种声表滤波器,包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器,所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述散射结构为金属条,所述金属条面向所述换能器的侧面呈锯齿状。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述换能器包括采用半导体平面工艺在压电单晶基片表面的金属薄膜上制作的第一扇形换能器和第二扇形换能器;所述散射结构包括设置在所述第一扇形换能器远离第二扇形换能器方向的非换能区由近及远平行设置的第一金属块列和第二金属块列,和,设置在所述第二扇形换能器远离第一扇形换能器方向的非换能区由近及远平行设置的第三金属块列和第四金属块列,所述第一金属块列、第二金属块列、第三金属块列和第四金属块列均由若干金属块排列组成,所述金属块面向换能器的侧面包括至少一个与所述信号传输方向呈非直角的倾斜面。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述金属块为菱形。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述第一金属块列、第二金属块列、第三金属块列和第四金属块列中金属块形状、大小均一致。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述第一金属块列与第一扇形换能器的水平间距和第三金属块列与第二扇形换能器的水平间距一致。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述第一金属块列与第二金属块列的水平间距和第三金属块列与第四金属块列水的平间距一致。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述金属块的材质与所述第一扇形换能器/第二扇形换能器材质一致。
本申请技术方案的有益效果是:通过在滤波器基片的金属薄膜上制作形成换能器并在所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置散射结构,使得经过散射结构的信号发生散射,避免了信号经基片端面直接反射后进入所述换能器内部形成假信号,产生较大寄生杂波。优化了滤波器的通带平坦度、带外抑制等电性能指标。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本申请的一种锯齿状散射结构示意图;
图2为本申请的声表滤波器的平面示意图;
图3为信号在基片端面发生反射时信号传输示意图;
图4为信号在基片端面发生反射时滤波器的频响图;
图5为本申请的信号在金属块发生散射时的信号传输示意图;
图6为本申请的声表滤波器的频响图;
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