[实用新型]一种检查装置用移动台

说明书

本实用新型涉及一种检查装置用移动台，本实用新型的检查装置用移动台的特征在于，包括：第一基底；台块，配置在所述第一基底的上侧；第一引导部，用于连接所述第一基底和所述台块，且在所述第一基底和所述台块之间区域提供成为所述台块的旋转中心的基准点；及旋转调节部，用于使所述台块以所述基准点为中心进行旋转。

技术领域

本实用新型涉及一种检查装置用移动台，更为详细地，涉及一种如下的检查装置用移动台：通过在同一个基准点上实现用于使台块旋转及倾斜的移动，从而能够防止当台块旋转时倾斜角度改变。

背景技术

一般来讲，如各种光学产品及电子产品等精度较高的产品在完成制造后通常会在额外的检测台上进行检测，以确认是否为合格品。

此外，所述检查台为了精确地检查产品，用于安装产品的台的上表面需要保持水平状态，即需要保持台的平坦度，以便防止台向一侧倾斜。

为了调节所述台的平坦度，如图1所示，以往通过台角部的TX及TY轴移动来调节台的平坦度，所述台角部的TX及TY轴用于调节台的R轴旋转和台的倾斜。

具体地，以往的台80通过在调节块30上支撑台80的移动块70来调节X及Y轴位置，并且通过在调节块30上支撑台80的两侧角部的一对第一钢球52来调节倾斜角度，通过由支撑台80的调节块30在基底块10上以R轴为中心旋转来调节旋转角度。

如此，根据以往的结构，在调节块30上调节台80的水平位置及倾斜，通过调节块30在基底块10上以R轴为中心旋转来调节台80的旋转角度，但在台80以R轴为中心旋转时，用于调节台80倾斜的调节块30与台80一起旋转，因此具有支撑被检查体的台80的倾斜角度随着调节块30的旋转而改变从而需要重新调节的问题。

专利文献1：韩国专利第10-1706106号(2017年2月13日)

实用新型内容

因此，本实用新型是为了解决如上所述以往问题而提出的，其目的是提供一种检查装置用移动台，该检查装置用移动台通过在同一个基准点上实现用于使台块旋转及倾斜的移动，从而能够防止当台块旋转时倾斜角度改变。

此外，提供一种检查装置用移动台，该检查装置用移动台最大限度地缩小台的高度，从而能够有效地应用设置台的检查装置的空间。

所述目的通过本实用新型的检查装置用移动台来实现，该检查装置用移动台的特征在于，包括：第一基底；台块，配置在所述第一基底的上侧；第一引导部，用于连接所述第一基底和所述台块，且在所述第一基底和所述台块之间的区域提供成为所述台块的旋转中心的基准点；及旋转调节部，用于使所述台块以所述基准点为中心进行旋转。

在此，优选所述第一引导部包括：球(sphere)形的基准球，连接在所述第一基底和所述台块中的一个；及夹套，连接在所述第一基底和所述台块中的另一个，并包覆所述基准球的至少一部分，以便能够以所述基准点为中心移动。

此外，优选所述旋转调节部包括：第一调节部，在所述第一基底上配置为能够轴向移动；第一连接片，一端部与所述台块连接，另一端部支撑在所述第一调节部的端部上；及第一弹性支撑部，以所述第一连接片为基准配置在第一调节部的相反侧，用于将所述第一连接片朝向第一调节部弹性支撑。

在此，优选所述第一弹性支撑部包括：支撑杆，前端部与所述第一连接片接触；第一弹簧，用于弹性支撑所述支撑杆的后端部；及固定杆，在所述第一基底上配置为能够轴向移动，且根据移动位置选择性地接触所述支撑杆的后端部。

在此，优选进一步包括：倾斜角调节部，通过使所述台块以所述基准点为中心进行转动来调节倾斜角度。