[实用新型]一种真空镀膜用旋转机构有效

专利信息
申请号: 201822235311.2 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN209741267U 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 殷霞 申请(专利权)人: 镇江超威纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 31258 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 季萍<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 212211 江苏省镇江市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 固定块 轴承 逆时针转动 圆心 伺服电机 旋转机构 真空镀膜 传动轴 固定管 上表面 橡胶圈 齿轮 自转 镀膜 转轴 啮合 真空镀膜技术 本实用新型 转轴顺时针 设备壳体 旋转镀膜 齿轮圈 固定圈 连接杆 设备壳 转动 摩擦 体内
【说明书】:

实用新型涉及真空镀膜技术领域,且公开了一种真空镀膜用旋转机构,包括设备壳体,所述设备壳体内壁的上表面固定连接有伺服电机,所述伺服电机的上表面固定连接有第一传动轴。该真空镀膜用旋转机构,第二轴承以固定圈为转轴顺时针转动时,通过齿轮与齿轮圈相啮合,在第二轴承的作用下,使得齿轮通过第二传动轴、固定块和第二连接杆带动固定管以固定块圆心为转轴逆时针转动,使得固定管内的工件镀膜更均匀,工件套以固定块圆心为转轴逆时针转动,使得当第一橡胶圈与第二橡胶圈摩擦时,在第三轴承的作用下,使得工件套内的工件可以自转,进行更加均匀的镀膜工作,从而使得可以实现在旋转镀膜时能够自转的目的。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种真空镀膜用旋转机构。

背景技术

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性,为了提高刀具或模具的使用寿命,需要在刀具或模具表面镀制一层硬质涂层,一般采用真空镀膜技术来实现。真空镀膜是将真空室内材料的原子从加热源离析出来,溅射到被镀物体的表面上,从而形成一层薄膜的技术,涂层厚度的均匀性是一项很重要的指标,对膜层颜色及性能的稳定性影响很大。在真空镀膜过程中,真空镀膜工件转台发挥着至关重要的作用。

现有真空镀膜机的工件转台在镀制小直径工件(例如钻头)时,由于工件细小的结构,使得在镀膜过程中,不能做到让工件自身再次旋转,从而导致镀出来的小直径工件的涂层厚度不均匀,严重影响产品质量。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种真空镀膜用旋转机构,具备在旋转镀膜时能够自转等优点,解决了不能自转的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜用旋转机构,包括设备壳体,所述设备壳体内壁的上表面固定连接有伺服电机,所述伺服电机的上表面固定连接有第一传动轴,所述设备壳体的内壁固定连接有支撑板,所述支撑板上表面固定镶嵌有贯穿并连通支撑板两端的第一轴承,所述第一轴承的内壁与第一传动轴的表面固定连接,所述支撑板的上表面开设有贯穿并连通支撑板上端的弧形槽,所述弧形槽的内壁活动连接有滚轮,所述滚轮的中心轴固定连接有支撑杆,所述支撑杆的上表面固定连接有第一连接杆,所述第一连接杆的一端固定连接有固定圈,且固定圈固定连接在第一传动轴表面的顶部,所述第一连接杆的另一端固定连接有第二轴承,所述第二轴承的内壁固定连接有固定管,所述固定管的表面固定连接有第二连接杆,所述第二连接杆的另一端固定连接有固定块,所述固定块的下表面固定连接有第二传动轴,所述第二传动轴的底部固定连接有齿轮,所述齿轮的表面啮合有齿轮圈,且齿轮圈固定连接在设备壳体的内壁,所述固定管的内壁固定连接有第三轴承,所述第三轴承的内壁固定连接有工件套,所述工件套的表面的底部固定连接有第一橡胶圈,所述第一橡胶圈的表面活动连接有第二橡胶圈,且第二橡胶圈固定连接在设备壳体的内壁。

优选的,所述第一连接杆的数量为三个,且三个第一连接杆以环形阵列的形式固定连接在固定圈的表面。

优选的,所述滚轮的大小与弧形槽的大小相适配。

优选的,所述第二橡胶圈位于齿轮圈的上方。

优选的,所述第一橡胶圈和第二橡胶圈的表面均为粗糙结构。

优选的,所述第一轴承的内径与第一传动轴的直径相适配。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种真空镀膜用旋转机构,具备以下有益效果:

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