[实用新型]多层梁式结构的陶瓷微加热板有效

专利信息
申请号: 201822238724.6 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN209472775U 公开(公告)日: 2019-10-08
发明(设计)人: 刘瑞 申请(专利权)人: 苏州甫一电子科技有限公司
主分类号: H05B3/22 分类号: H05B3/22;H05B3/10;C04B35/10;C04B35/581;C04B35/584;C04B35/622;C04B38/10
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋
地址: 215000 江苏省苏州市工业园*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 加热板 陶瓷 导热绝缘层 隔热陶瓷层 测试电极 梁式结构 加热层 多层 本实用新型 结构稳定性 槽状结构 隔热结构 加热性能 使用寿命 依次层叠 制备工艺 可控性 悬臂梁 加热 贯穿 加工
【权利要求书】:

1.一种多层梁式结构的陶瓷微加热板,其特征在于包括依次层叠的隔热陶瓷层、加热层、导热绝缘层和测试电极层,并且所述陶瓷微加热板内还形成有依次贯穿所述测试电极层、导热绝缘层、加热层及隔热陶瓷层的槽状结构,使所述陶瓷微加热板具有悬臂梁隔热结构。

2.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述加热层为Pt金属层、Mo金属层或W金属层。

3.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述加热层的厚度为100纳米-1000纳米。

4.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述测试电极层的材质为Au金属层或Ag金属层。

5.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述测试电极层的厚度为100纳米-1000纳米。

6.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述导热绝缘层的厚度为100纳米-5000纳米。

7.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述隔热陶瓷层、加热层、导热绝缘层和测试电极层被烧结为一体。

8.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述陶瓷微加热板包括工作区和支撑框架区,所述工作区分布在支撑框架区内,所述槽状结构为环形槽并环绕设置于工作区周围,所述工作区与支撑框架区之间经悬臂梁连接。

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