[实用新型]多层梁式结构的陶瓷微加热板有效
申请号: | 201822238724.6 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209472775U | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 刘瑞 | 申请(专利权)人: | 苏州甫一电子科技有限公司 |
主分类号: | H05B3/22 | 分类号: | H05B3/22;H05B3/10;C04B35/10;C04B35/581;C04B35/584;C04B35/622;C04B38/10 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热板 陶瓷 导热绝缘层 隔热陶瓷层 测试电极 梁式结构 加热层 多层 本实用新型 结构稳定性 槽状结构 隔热结构 加热性能 使用寿命 依次层叠 制备工艺 可控性 悬臂梁 加热 贯穿 加工 | ||
1.一种多层梁式结构的陶瓷微加热板,其特征在于包括依次层叠的隔热陶瓷层、加热层、导热绝缘层和测试电极层,并且所述陶瓷微加热板内还形成有依次贯穿所述测试电极层、导热绝缘层、加热层及隔热陶瓷层的槽状结构,使所述陶瓷微加热板具有悬臂梁隔热结构。
2.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述加热层为Pt金属层、Mo金属层或W金属层。
3.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述加热层的厚度为100纳米-1000纳米。
4.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述测试电极层的材质为Au金属层或Ag金属层。
5.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述测试电极层的厚度为100纳米-1000纳米。
6.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述导热绝缘层的厚度为100纳米-5000纳米。
7.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述隔热陶瓷层、加热层、导热绝缘层和测试电极层被烧结为一体。
8.如权利要求1所述的陶瓷微加热板,其特征在于:所述陶瓷微加热板包括工作区和支撑框架区,所述工作区分布在支撑框架区内,所述槽状结构为环形槽并环绕设置于工作区周围,所述工作区与支撑框架区之间经悬臂梁连接。
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