[实用新型]一种用于多弧离子镀膜的小弧源

权利要求书

1.一种用于多弧离子镀膜的小弧源，其特征在于，包括磁铁调节柱、内磁铁、靶座、轭铁、水管、绝缘法兰、安装法兰、屏蔽罩、绝缘套、绝缘垫、屏蔽板、靶材压框、封水板、靶材、外磁铁，自动引弧装置；在所述的安装法兰上螺栓固定屏蔽罩；在屏蔽罩的上方固定若干个支撑螺栓，在支撑螺栓上用螺母固定所述的屏蔽板；在屏蔽板的中间套入靶材；在所述的屏蔽罩的内部，在安装法兰上从下往上依次固定绝缘法兰、轭铁、靶座；在所述的轭铁和靶座之间设置一圈所述的外磁铁；在所述的轭铁和靶座的中心位置上设置一凹槽，在凹槽中设置磁铁调节柱与内磁铁，所述的磁铁调节柱从上往下依次穿过所述的轭铁和所述的安装法兰；在所述的靶座与靶材之间设置封水板；在封水板下方的空缺中，螺纹连接水管，水管依次穿过靶座、轭铁以及安装法兰，在封水板上方设置靶材压框，固定靶材；在安装法兰的边缘上开设一圆孔；在圆孔内设置自动引弧装置。

2.如权利要求1所述的一种用于多弧离子镀膜的小弧源，其特征在于，所述的自动引弧装置包括引弧针、调节杆、密封轴、第一氟橡胶圈、密封环、绝缘件、第二氟橡胶圈、密封法兰、压环、紧固螺母、支架、气缸；所述的绝缘件固定在所述的安装法兰上，在所述的绝缘件的里面设置密封法兰；密封法兰穿过所述的安装法兰；在密封法兰内穿入密封轴，在密封轴和密封法兰之间，从上往下设置第一氟橡胶圈、密封环和压环；在密封轴的下方螺纹连接气缸；在密封轴的上方采用止头螺钉活动连接调节杆，在调节杆上横向固定引弧针；在密封法兰与绝缘件之间设置第二氟橡胶圈；在密封法兰的下方螺纹连接紧固螺母；在密封法兰的外侧套入支架。

3.如权利要求1所述的一种用于多弧离子镀膜的小弧源，其特征在于，所述的内磁铁、外磁铁均为钕铁硼永磁铁。

4.如权利要求1所述的一种用于多弧离子镀膜的小弧源，其特征在于，所述的绝缘法兰、绝缘套、绝缘垫均为聚四氟乙烯。

5.如权利要求2所述的一种用于多弧离子镀膜的小弧源，其特征在于，所述的绝缘件的材料为聚四氟乙烯。

6.如权利要求1所述的一种用于多弧离子镀膜的小弧源，其特征在于，所述的磁铁调节柱、轭铁、屏蔽板的材料为纯铁。

7.如权利要求1所述的一种用于多弧离子镀膜的小弧源，其特征在于，所述的封水板的材料为黄铜。