[实用新型]独立开关式面光源VCSEL有效
申请号: | 201822252880.8 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209088266U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 王俊;谭少阳;赵智德 | 申请(专利权)人: | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183;H01S5/187 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 杨淑霞 |
地址: | 215163 江苏省苏州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外延层 发光区域 供电电极 本实用新型 独立开关 发光芯片 背电极 面光源 衬底 半导体 半导体衬底层 电极一端 使用寿命 依次层叠 延长面 电极 源层 光源 背面 能耗 协同 节约 延伸 | ||
1.一种独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,所述独立开关式面光源VCSEL包括:半导体衬底、外延层以及至少两个各自独立工作的发光区域;
所述外延层位于所述半导体衬底的正面,所述发光区域位于所述外延层的正面,各发光区域具有各自独立的供电电极,任一所述发光区域包括:发光芯片以及所述供电电极,所述发光芯片包括自上而下依次层叠设置的:上DBR层、有源层以及下DBR层,所述供电电极包括:外延层电极以及背电极,所述外延层电极一端与所述上DBR层的顶面相连接,另一端延伸至所述外延层上,所述背电极位于半导体衬底层的背面。
2.根据权利要求1所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,任一所述发光区域中具有至少一个发光芯片。
3.根据权利要求2所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,所述发光芯片为多个,多个发光芯片以规则或者不规则的方式排布于所述外延层上。
4.根据权利要求3所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,多个发光芯片以方形阵列或者圆形阵列的方式进行排布。
5.根据权利要求1所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,所述发光区域为四个,四个发光区域对应一直角坐标系的四个象限。
6.根据权利要求5所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,四个发光区域的面积相等或者不等。
7.根据权利要求1所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,所述外延面电极与所述发光芯片的侧壁之间还设置有绝缘层。
8.根据权利要求1所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,各发光区域之间设置有隔离层。
9.根据权利要求1所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,所述独立开关式面光源VCSEL为适用于红外、可见和紫外光波段面光源VCSEL中的任一种。
10.根据权利要求1所述的独立开关式面光源VCSEL,其特征在于,所述独立开关式面光源VCSEL为适用于无偏振控制或偏振控制的面光源结构。
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