[实用新型]机械手驱动机构

说明书

本实用新型公开一种机械手驱动机构，包括：升降驱动机构和水平驱动机构，其中，升降驱动机构的升降波纹管上端连接升降底板，下端固定在腔体上，气缸通过活塞杆与升降底板相连接，活塞杆套装在升降波纹管中，导向杆设置在腔体底部，在升降底板上对应位置设有导向套，与导向杆配合，使升降底板平稳升降，水平驱动机构的钢带驱动机构与电机相连，滑轨导向装置与机械手连接，使机械手沿滑轨导向方向运动，钢带驱动机构与机械手的中间部位相连接，在电机的驱动下带动机械手水平运动，滑轨导向装置和钢带驱动机构安装在升降底板上，升降底板在气缸的驱动下，实现机械手的垂直升降。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种机械手驱动机构。

背景技术

随着科技飞速发展，半导体行业的重要性日见突出，半导体制造的自动化及要求也越来越高。半导体行业中很多设备都需要用到真空机械手传送晶片，但目前商品化、成品化的真空传片机械手非常少，而且此类真空传片机械手一般都是多用于多个设备集成的机台，成本也较高。针对单个机台使用的真空传片装置多为定制化，加工零件成本高昂，而且结构复杂，装配难度高，要求精度高，应用性能也缺乏可靠性。

对于可升降的单机台真空机械手，目前市面上少之又少，对于必须使用可升降的真空机械手的设备，就不得不配备全自动机械手成品，无疑使得设备的成本更高，也浪费了全自动成品机械手的很多功能。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型公开一种机械手驱动机构，包括：升降驱动机构和水平驱动机构，其中，所述升降驱动机构包括升降底板、升降波纹管、气缸，升降导向系统，所述升降波纹管上端连接升降底板，下端固定在腔体上，所述气缸通过活塞杆与所述升降底板相连接，所述活塞杆套装在所述升降波纹管中，所述导向系统包括导向杆和导向套，所述导向杆设置在腔体底部，在所述升降底板上对应位置设有所述导向套，与所述导向杆配合，使所述升降底板平稳升降，所述水平驱动机构包括滑轨导向装置、钢带驱动机构和电机，所述钢带驱动机构与电机相连，所述滑轨导向装置与机械手连接，使机械手沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构与机械手的中间部位相连接，在电机的驱动下带动机械手水平运动，所述滑轨导向装置和所述钢带驱动机构安装在所述升降底板上，所述升降底板在所述气缸的驱动下，实现机械手的垂直升降。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，所述钢带驱动机构以主动轮可转动的方式固定在所述升降底板上。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，所述钢带驱动机构的主动轮固定在垂直导向轴上，所述垂直导向轴固定在轴承座上面，所述轴承座固定在所述升降底板上。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，所述垂直导向轴通过磁流体密封轴与所述电机相连接，所述磁流体密封轴包括壳体、法兰和转轴，所述转轴的一端为方形轴，另一端为圆形轴，所述转轴穿过所述壳体并且相对于所述壳体转动，所述法兰套装于所述壳体外，所述法兰和腔体的底部固定连接，使整个磁流体密封轴垂直于腔体的底面。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，所述磁流体密封轴的方形轴端穿入垂直导向轴的内方孔中，圆形轴端则通过联轴器连接至驱动电机。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，磁流体密封轴的方形轴能够在所述垂直导向轴的内方孔中垂直升降运动。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，所述气缸的个数为1～2个。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，所述机械手垂直升降的高度在5～20mm之间。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，在所述升降底板上设有配重块，用于调节重心。

本实用新型的机械手驱动机构中，优选为，所述垂直导向轴的长度小于所述磁流体密封轴的方形轴的长度，所述垂直导向轴的内方孔的尺寸大于所述方形轴的尺寸，以使所述方形轴与所述方孔配合且不脱离。