[实用新型]一种电解抛光装置有效
申请号: | 201822254905.8 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209307509U | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 靳松;李敏;张沛;贺斐思;戴劲;翟纪元 | 申请(专利权)人: | 中国科学院高能物理研究所;上海正帆科技股份有限公司 |
主分类号: | C25F7/00 | 分类号: | C25F7/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 100049 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电解液 内腔 内腔连通 电极 电解抛光过程 电解抛光装置 本实用新型 电解抛光 工件转动 驱动单元 电化学技术领域 工件内表面 工件水平 气泡脱离 均匀性 排出 驱动 贯穿 | ||
1.一种电解抛光装置,其特征在于,包括:
驱动单元,能够驱动带有内腔的工件(5)转动;
箱体,所述工件(5)转动连接于所述箱体,所述箱体上设有气体孔(12),所述气体孔(12)与所述内腔连通;
电极(3),其贯穿于所述内腔和所述箱体;
所述箱体设有与所述内腔连通的第一电解液孔(11),和/或所述电极(3)上设有与所述内腔连通的第二电解液孔。
2.根据权利要求1所述的电解抛光装置,其特征在于,所述箱体包括第一箱体(1)和第二箱体(2),所述工件(5)的两端分别与所述第一箱体(1)和所述第二箱体(2)转动连接,所述第一电解液孔(11)设于所述第一箱体(1)上,所述气体孔(12)设于所述第一箱体(1)和/或所述第二箱体(2)。
3.根据权利要求2所述的电解抛光装置,其特征在于,所述第二箱体(2)上设有与所述内腔连通的第三电解液孔(21),所述第三电解液孔(21)通过外部管路与电解液源连通,所述外部管路上设有动力单元。
4.根据权利要求3所述的电解抛光装置,其特征在于,所述气体孔(12)位于所述第一箱体(1)和/或所述第二箱体(2)的上端,所述第一电解液孔(11)和所述第三电解液孔(21)分别位于所述第一箱体(1)和所述第二箱体(2)的侧面。
5.根据权利要求4所述的电解抛光装置,其特征在于,所述电极(3)依次穿过所述第一箱体(1)、所述工件(5)的内腔及所述第二箱体(2),所述电极(3)与所述第一箱体(1)和所述第二箱体(2)密封设置。
6.根据权利要求1至5任一项所述的电解抛光装置,其特征在于,所述驱动单元包括第一齿轮轴(4)、第二齿轮轴(6)和电机(9),所述电机(9)驱动所述第二齿轮轴(6)转动,所述第一齿轮轴(4)与所述第二齿轮轴(6)啮合传动,所述第一齿轮轴(4)密封转动连接于所述箱体;
所述工件(5)与所述第一齿轮轴(4)固定连接,能够随所述第一齿轮轴(4)同步转动。
7.根据权利要求6所述的电解抛光装置,其特征在于,所述第一齿轮轴(4)为具有空心腔的轴,所述工件(5)的内腔、所述空心腔及所述箱体连通。
8.根据权利要求6所述的电解抛光装置,其特征在于,还包括支撑架(10),用于支撑所述箱体,所述电机(9)位于所述支撑架(10)内。
9.根据权利要求6所述的电解抛光装置,其特征在于,还包括两个轴承(16),两个所述轴承(16)均位于所述第一齿轮轴(4)和所述箱体之间且相互抵接。
10.根据权利要求6所述的电解抛光装置,其特征在于,还包括密封盖板(8)、端面密封圈(13)、轴向密封圈(14)及安装腔室密封圈(15),所述密封盖板(8)通过紧固件连接于所述箱体的一侧并抵接于所述第一齿轮轴(4)的外壁,所述端面密封圈(13)和所述轴向密封圈(14)均位于所述第一齿轮轴(4)和所述密封盖板(8)之间,所述安装腔室密封圈(15)位于所述密封盖板(8)和所述箱体之间。
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