[实用新型]一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置

说明书

本实用新型公开了一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置，属于扫描电镜元件技术领域。该装置包括：底座，底座上表面设有中心立柱，中心立柱的周围设有若干个滑槽，每个滑槽内均滑动设有滑块，滑块靠近中心立柱的一侧面上固定设有滑块弹簧，滑块弹簧和中心立柱固定连接，每个滑块上均设有夹具头，夹具头的下表面设有导电触点，每个滑槽的一侧均设有底托，底托的下表面通过底托弹簧设置在底座的上表面。本实用新型的简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置可以实现不同大小和不同厚度样品的固定，大大减小扫描电镜的操作难度。适用于不规则形状的样品，具有更好的稳定性；减少对样品的破坏和污染。可以反复利用，具有节约材料的优势。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜元件技术领域，具体涉及一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置。

背景技术

电子显微镜分析时需要对样品进行一系列的样品前期处理工作，包括样品切片、环氧树脂粘片、薄片抛光以及导电处理。其中样品的导电性是电子显微镜分析的必要条件，对于绝缘样品而言，目前最常规的处理方式是通过导电胶将镀导电层的样品表面与样品托粘结来实现绝缘样品的导电处理，进而进行扫描电镜观察。但是这样的处理方式一方面对样品的制备要求较高(样品需厚度均匀，大小合适)，针对于一些较大的不规则形状的珍贵样品，仅通过导电胶的粘结，很难保证样品表面的水平，会加大扫描电镜的操作难度，存在分析时掉落扫描电镜腔体以及与极靴相撞的风险，而且导电胶会在样品表面残留从而污染样品；另一方面这个过程需要消耗大量的导电胶材料并且过程较繁琐，严重影响工作效率。

综上所述，现有技术存在的问题是：不规则珍贵样品导电处理的复杂性，导电胶对样品的污染以及材料的不可重复利用造成的浪费。

实用新型内容

本实用新型提供一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置，可以解决现有技术中的上述问题。

本实用新型提供了一种简易的扫描电镜绝缘样品导电处理装置，包括：底座，所述底座的上表面中心处设有中心立柱，所述中心立柱的周围设有若干个方向指向所述中心立柱的滑槽，每个所述滑槽内均滑动设有滑块，所述滑块靠近所述中心立柱的一侧面上固定设有滑块弹簧，所述滑块弹簧和所述中心立柱固定连接，每个所述滑块上均设有夹具头，所述夹具头为L型，所述夹具头的水平段的下表面设有导电触点，每个所述滑槽的一侧均设有底托，所述底托的下表面通过底托弹簧设置在所述底座的上表面。

优选地，所述滑槽的数量为3个。

优选地，所述底座、滑块和夹具头都是铝制材料。

优选地，所述导电触点为铜制材料。

优选地，所述底托的高度和所述夹具头的高度相同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、使用弹簧将滑块与底座中心的立柱相连，通过弹簧的拉伸将滑块向外自由滑动，可以实现不同大小样品的固定。

2、使用弹簧将底拖与底座相连，通过弹簧的压缩，配合以固定的夹具头，可以实现不同厚度样品的固定，同时三个底托的相互调节可以尽量保证样品上表面的水平，大大减小扫描电镜的操作难度。适用于不规则形状的样品，且能够使样品的固定具有更好的稳定性。

3、与样品直接接触的只有底托以及铜制导电触点，可以更大程度减少对样品的破坏和污染。同时该装置可以反复利用，相较于一次性的导电胶粘结具有节约材料的优势。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

附图标记说明：

1.底座，2.滑块，3.夹具头，4.底托，5.中心立柱，6.导电触点，7.滑块弹簧，8.底托弹簧。

具体实施方式