[实用新型]一种采用动压轴承的双面研磨抛光机

说明书

本实用新型提供一种采用动压轴承的双面研磨抛光机，包括上导轨、下导轨；所述上导轨与下导轨的接触面设有减磨导轨贴；所述下导轨内设置导轨润滑油循环通道，使所述减磨导轨贴浸在润滑油中，形成动压轴承结构。所述减磨导轨贴周向均匀粘贴于所述下导轨的表面。本实用新型在上导轨与下导轨的接触面设置减磨导轨贴，并设置导轨润滑油循环通道，构成动压轴承结构，提高了双面研磨抛光设备抛光精度和稳定性。

技术领域

本实用新型涉及电子及半导体冷加工领域，具体涉及材料的双面精磨和抛光，是现代电子和半导体行业的主要加工设备。

背景技术

今年来，电子及半导体行业对平面度、平行度的要求越来越高，设备工作承受的载荷越来越大，使用常规滚动轴承的双面研磨抛光设备在设备精度和稳定性上越来越难以满足使用工况要求。滚动轴承一旦损坏，维修成本高，更换难度大，耽误生产。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种采用动压轴承的双面研磨抛光机设计，该设备在自身达到的精度及精度保持性上更具可靠性。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种采用动压轴承的双面研磨抛光机，包括上导轨、下导轨；所述上导轨与下导轨的接触面设有减磨导轨贴；所述下导轨内设置导轨润滑油循环通道，使所述减磨导轨贴浸在润滑油中，形成动压轴承结构。

进一步的，所述减磨导轨贴周向均匀粘贴于所述下导轨的表面。

有益效果：本实用新型在上导轨与下导轨的接触面设置减磨导轨贴，并设置导轨润滑油循环通道，构成动压轴承结构，提高了双面研磨抛光设备抛光精度和稳定性。

附图说明

图1为图2的AA视图；

图2为上、下导轨结构示意图；

图3为下导轨的底视图；

图4为图3的BB视图；

图5为下导轨的俯视图；

图6为抛光机结构示意图；

图中标号：1、上导轨；2、下导轨；3、减磨导轨贴；4、下导轨外加强圈；5、下导轨内加强圈；6、导轨润滑油循环通道；7、高精度下磨盘；8、承载铸铁板；9、铸造机座。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

如图1-6所示，上导轨1与下导轨2的接触面设有减磨导轨贴3，下导轨2内设置导轨润滑油循环通道6，润滑油形成动压油膜，减磨导轨贴3浸在润滑油中，形成动压结构。减磨导轨贴3采用进口减磨导轨贴。减磨导轨贴3周向均匀粘贴于下导轨2的表面。

本实用新型克服了常规滚动轴承的双面研磨抛光设备在设备精度和稳定性上的缺陷，将滚动轴承改为动压轴承，大大提高了设备精度和稳定性。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。