[实用新型]连续变焦激光整形系统有效
| 申请号： | 201822264755.9 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209248166U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 吴爽;沈为民 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B7/09 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 变焦 连续变焦 整形 双凸非球面透镜 透镜 激光整形系统 本实用新型 凹非球面 补偿运动 固定部件 运动部件 补偿组 整形组 光学信息处理 激光应用领域 无焦光学系统 准直激光束 高斯分布 光线入射 激光加工 连续可调 平行光束 生物医学 显微光刻 依次设置 激光束 透射式 扩束 匀化 紧凑 | ||
【权利要求书】：
1.一种连续变焦激光整形系统，其特征在于：它为透射式无焦光学系统，包括变焦整形组和补偿组，所述的变焦整形组包括固定部件和变焦整形运动部件，所述的固定部件包括平凹非球面透镜(1)和双凸非球面透镜(2)，所述的变焦整形运动部件为单块负透镜或双分离透镜组，所述的补偿组为补偿运动部件；所述系统的结构为：沿光线入射方向，依次设置平凹非球面透镜(1)、双凸非球面透镜(2)、变焦整形运动部件和补偿运动部件；轴向移动变焦整形运动部件和补偿运动部件，同时实现激光束的连续变焦扩束和能量匀化。
2.根据权利要求1所述的一种连续变焦激光整形系统，其特征在于：光学系统采用正组补偿结构，补偿运动部件为单块正透镜或双分离透镜组。
3.根据权利要求1所述的一种连续变焦激光整形系统，其特征在于：固定部件与变焦整形运动部件的焦距比为1:(-1.5 ～ -0.5)，固定部件与补偿运动部件的焦距比为1:(2.5～ 4)。
4.根据权利要求1所述的一种连续变焦激光整形系统，其特征在于：光学系统总长为140mm ～ 180mm。
5.根据权利要求1所述的一种连续变焦激光整形系统，其特征在于：出射光束的尺寸调节范围为18mm ～ 54mm。
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