[实用新型]在线监测微波冷冻干燥过程中物料外观的系统

权利要求书

1.一种在线监测微波冷冻干燥过程中物料外观的系统，其特征在于，包括微波冻干仓和太赫兹成像检测模块，所述太赫兹成像检测模块安装于所述微波冻干仓的上方；

所述微波冻干仓内设置有可相对所述微波冻干仓移动的载物台；所述载物台设置在所述太赫兹成像检测模块成像的焦点位置。

2.如权利要求1所述的在线监测微波冷冻干燥过程中物料外观的系统，其特征在于，所述太赫兹成像检测模块包括：

飞秒激光器，所述飞秒激光器用于发射激光脉冲波；

分束镜，所述分束镜用于将所述飞秒激光器发射的激光脉冲波分成泵浦光和探测光；

若干平面反射镜，若干所述平面反射镜用于使所述泵浦光形成具有光学延迟线的光路；

第一光纤耦合器，所述第一光纤耦合器用于将经过光学延迟线射出的泵浦光进行收集；

太赫兹发射光电导天线，所述太赫兹发射光电导天线通过光纤与所述第一光纤耦合器连接；

第一会聚镜，所述第一会聚镜用于将所述太赫兹发射光电导天线发射的太赫兹波反射至所述载物台上的样品表面；

第二会聚镜，所述第二会聚镜用于将所述样品表面反射出来的太赫兹波反射至太赫兹接收光电导天线；

太赫兹接收光电导天线，所述太赫兹接收光电导天线通过光纤与第二光纤耦合器信号连接；

第二光纤耦合器，所述第二光纤耦合器用于将所述探测光耦合进光纤；

锁相放大器，所述锁相放大器通过锁相放大器数据线与所述太赫兹接收光电导天线信号连接。

3.如权利要求2所述的在线监测微波冷冻干燥过程中物料外观的系统，其特征在于，所述飞秒激光器选自全固态飞秒激光器、光纤飞秒激光器中的任一种。

4.如权利要求2所述的在线监测微波冷冻干燥过程中物料外观的系统，其特征在于，所述第一会聚镜和第二会聚镜均为离轴抛物面镜。

5.如权利要求1～2任一项所述的在线监测微波冷冻干燥过程中物料外观的系统，其特征在于，所述载物台为具有二维移动功能的平台。

6.如权利要求1～2任一项所述的在线监测微波冷冻干燥过程中物料外观的系统，其特征在于，所述微波冻干仓为透明冻干仓。