[实用新型]光波导监测系统

权利要求书

1.一种光波导监测系统，其特征在于：包括光源、集成光波导和光探测器芯片；所述集成光波导包括基片，所述基片上设有多个分支光波导；多个所述分支光波导的一端均耦合在一起，每个所述分支光波导上还设有光溢出口；

所述光探测器芯片还包括多个监测单元，每个所述监测单元包括入光区和光电转换区；每个所述监测单元的入光区均设于所述光探测器芯片的背面，每个所述监测单元的光电转换区均位于所述光探测器芯片的吸收层；所述光探测器芯片的背面连接于所述集成光波导的一表面上，每个所述入光区与对应的一个所述分支光波导的光溢出口进行光路耦合；

所述光源射出的光进入到所述集成光波导内，并分成多束光分别在对应的所述分支光波导内传输；在每个所述分支光波导内传输的光的一部分从所述光溢出口溢出，并经对应的所述监测单元的入光区射入到对应的所述光电转换区内进行光电转换。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：每个所述监测单元包括光敏区、第一电极和第二电极，每个所述监测单元的光敏区均设于所述光探测器芯片的顶层，且内端连接于所述吸收层；所述吸收层内对应所述光敏区的区域即为所述光电转换区；每个所述监测单元的光敏区的外端与对应一个所述第一电极相连接；多个所述监测单元的光敏区共用所述顶层和所述吸收层，并间隔设置。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于：每个所述监测单元的第一电极和第二电极均设于所述光探测器芯片的正面并相互绝缘设置，每个所述监测单元的第二电极均与所述光探测器芯片的缓冲层相连接。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于：所述光探测器芯片上还开设有与所述监测单元的第二电极一一对应的电极安装槽，所述电极安装槽向所述光探测器芯片正面的方向开口并贯穿所述顶层和所述吸收层，并内端位于所述缓冲层；每个所述监测单元的第二电极设于对应的所述电极安装槽内。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：多个所述监测单元呈单排设置。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：所述光探测器芯片的背面通过光学胶的方式胶粘于所述集成光波导的一表面上。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：还包括基底，所述光源和所述集成光波导均连接于所述基底上并间隔设置。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：所述基片上还设有入射光波导和分叉光波导，所述入射光波导通过所述分叉光波导与多个所述分支光波导相连接，所述光源射出的光先进入到所述入射光波导内传输，再经所述分叉光波导分成多束光，从而每束光在对应的一个所述分支光波导内传输。

9.根据权利要求7所述的系统，其特征在于：所述集成光波导与所述基底之间还设有光路耦合调节装置。

10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：每个所述监测单元的入光区内均设有入光增透膜。