[发明专利]散射角测量装置和散射角测量方法在审
申请号: | 201880000919.7 | 申请日: | 2018-06-28 |
公开(公告)号: | CN109073549A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 蒋鹏;任新东;郭子成 | 申请(专利权)人: | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47 |
代理公司: | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人: | 王君;毛威 |
地址: | 518045 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 散射方向 散射角 信号采集单元 测量装置 入射平面 待测件 散射光 采集 处理单元 散射光强 发射光线 激光器 上移动 移动 测量 申请 | ||
1.一种散射角测量装置,其特征在于,所述散射角测量装置包括:
激光器,用于向待测件发射光线,以得到所述光线经过所述待测件后形成的散射光;
信号采集单元,用于在所述光线的入射平面内移动,以采集所述入射平面内的多个散射方向上的所述散射光;
处理单元,用于根据所述多个散射方向上的散射光强,确定所述待测件的散射角。
2.根据权利要求1所述的散射角测量装置,其特征在于,所述信号采集单元具体用于:
在所述入射平面内,以所述光线在所述待测件上的入射点为中心旋转,以采集所述多个散射方向上的所述散射光。
3.根据权利要求1或2所述的散射角测量装置,其特征在于,所述多个散射方向包括入射方向和位于所述入射方向一侧的N个散射方向,所述N个散射方向中的第i个散射方向与所述入射方向之间的夹角小于第i+1个散射方向与所述入射方向之间的夹角,1≤i≤N,
其中,所述处理单元具体用于:
若所述入射方向以及第1个散射方向至第M1个散射方向上的散射光强之和,与所述多个散射方向上的散射光强总和的比值达到预设值,则确定所述第M1个散射方向与所述入射方向之间的夹角为所述待测件的散射角,1≤M1≤N。
4.根据权利要求1或2所述的散射角测量装置,其特征在于,所述多个散射方向包括入射方向、以及关于所述入射方向对称的位于所述入射方向的第一侧的N个散射方向和位于所述入射方向的第二侧的N个散射方向,所述第一侧的N散射方向中的第i个散射方向与所述入射方向之间的夹角小于第i+1个散射方向与所述入射方向之间的夹角,所述第二侧的N个散射方向中的第i个散射方向与所述入射方向之间的夹角小于第i+1个散射方向与所述入射方向之间的夹角,1≤i≤N,
其中,所述处理单元具体用于:
若所述入射方向、所述第一侧的第1个散射方向至第M2个散射方向、以及所述第二侧的第1个散射方向至所述第M2个散射方向上的散射光强之和,与所述多个散射方向上的散射光强总和的比值达到预设值,则确定所述第M2个散射方向与所述入射方向之间的夹角为所述待测件的散射角,1≤M2≤N。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的散射角测量装置,其特征在于,所述散射角测量装置还包括执行单元,所述信号采集单元设置在所述执行单元上,所述执行单元用于带动所述信号采集单元在所述入射平面内移动,以采集所述多个散射方向上的所述散射光。
6.根据权利要求5所述的散射角测量装置,其特征在于,在所述信号采集单元采集所述多个散射方向上的所述散射光之前,所述执行单元还用于:
带动所述信号采集单元移动至所述光线的入射方向上,所述信号采集单元在所述入射方向上的位置为所述信号采集单元在所述入射平面内移动的起始位置。
7.根据权利要求5或6所述的散射角测量装置,其特征在于,所述执行单元包括旋转轴和旋转臂,所述信号采集单元设置在所述旋转臂上,
所述旋转臂用于围绕所述旋转轴的轴线进行旋转,以带动所述旋转臂上的所述信号采集单元在所述入射平面内以所述光线在所述待测件上的入射点为中心旋转,以采集所述多个散射方向上的所述散射光。
8.根据权利要求7所述的散射角测量装置,其特征在于,所述旋转轴与所述入射平面垂直,所述旋转臂为直角臂,所述直角臂的一个直角边与所述旋转轴连接且垂直与所述旋转轴,所述直角臂的另一个直角边与所述旋转轴平行,所述信号采集单元设置在与所述旋转轴平行的直角边上。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的散射角测量装置,其特征在于,所述信号采集单元包括一个光电传感器,所述光电传感器用于在所述入射平面内移动,以采集所述多个散射方向上的所述散射光,并将所述多个散射方向上的所述散射光的光信号转化为电信号。
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