[发明专利]多堆叠层三维存储器件有效

专利信息
申请号: 201880001921.6 申请日: 2018-09-20
公开(公告)号: CN109417075B 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 肖莉红;胡斌 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L27/1157 分类号: H01L27/1157;H01L27/11578
代理公司: 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 代理人: 钟胜光
地址: 430074 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 堆叠 三维 存储 器件
【权利要求书】:

1.一种3D存储器件,包括:

第一器件芯片,包括:

外围器件;

存储堆叠层;

垂直延伸穿过所述第一器件芯片的所述存储堆叠层的第一触点;以及

第一互连层;

第二器件芯片,包括:

衬底;

分别设置在所述衬底的两个相对侧面的两个存储堆叠层,其中,所述两个相对侧面包括上侧和下侧;

两个存储器串,每个所述存储器串垂直延伸穿过所述两个存储堆叠层中的一个,

垂直延伸穿过所述第二器件芯片的所述衬底和所述两个存储堆叠层的第二触点;以及

第二互连层,其中,所述第一互连层和所述第二互连层中的每一个包括电连接所述第一器件芯片的第一触点和所述第二器件芯片的第二触点的触点;以及

键合界面,所述键合界面垂直形成在所述第一器件芯片的所述第一互连层和所述第二器件芯片的所述第二互连层之间。

2.根据权利要求1所述的3D存储器件,其中所述第一器件芯片还包括存储堆叠层和垂直延伸穿过所述存储堆叠层的存储器串。

3.根据权利要求2所述的3D存储器件,其中所述第一器件芯片的所述存储堆叠层设置在所述外围器件旁边、下方或上方。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的3D存储器件,其中,所述第一互连层包括在所述键合界面处的多个键合触点和键合电介质。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的3D存储器件,其中,所述第二器件芯片的所述两个存储堆叠层中的每一个包括朝向所述存储堆叠层的中心倾斜的阶梯结构。

6.根据权利要求5所述的3D存储器件,其中所述第二器件芯片还包括两个字线触点,每个所述字线触点在相应的阶梯结构处与所述两个存储堆叠层中的一个接触。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的3D存储器件,其中所述第二互连层包括在所述键合界面处的多个键合触点和键合电介质。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的3D存储器件,其中,所述第二器件芯片还包括设置在所述衬底的与所述第二互连层相对的一侧的另一第二互连层。

9.根据权利要求8所述的3D存储器件,还包括:

第三器件芯片,包括:

存储堆叠层;

垂直延伸穿过所述存储堆叠层的存储器串;以及

第三互连层;以及

第二键合界面,所述第二键合界面垂直形成在所述第三器件芯片的所述第三互连层和所述第二器件芯片的所述另一第二互连层之间。

10.根据权利要求9所述的3D存储器件,还包括选择线,所述选择线被配置为在所述第三器件芯片中的存储器串和所述第二器件芯片中的两个存储器串中的一个之间进行选择。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司,未经长江存储科技有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880001921.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top