[发明专利]形成介电膜的组合物

权利要求书

1.一种形成介电膜的组合物，包含：

a)至少一种完全酰亚胺化的聚酰亚胺聚合物；

b)至少一种含金属的(甲基)丙烯酸酯；

c)至少一种催化剂；和

d)至少一种溶剂。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种含金属的(甲基)丙烯酸酯的金属原子选自由钛、锆、铪和锗组成的组。

3.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种含金属的(甲基)丙烯酸酯包含至少一个金属原子和至少一个(甲基)丙烯酸酯基团。

4.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种含金属的(甲基)丙烯酸酯包括四(甲基)丙烯酸钛、四(甲基)丙烯酸锆、四(甲基)丙烯酸铪、钛丁氧基三(甲基)丙烯酸酯、钛二丁氧基二(甲基)丙烯酸酯、钛三丁氧基(甲基)丙烯酸酯、锆丁氧基三(甲基)丙烯酸酯、锆二丁氧基二(甲基)丙烯酸酯、锆三丁氧基(甲基)丙烯酸酯、铪丁氧基三(甲基)丙烯酸酯、铪二丁氧基二(甲基)丙烯酸酯、铪三丁氧基(甲基)丙烯酸酯、钛四(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、锆四(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、铪四(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、钛丁氧基三(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、钛二丁氧基二(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、钛三丁氧基(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、锆丁氧基三(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、锆二丁氧基二(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、锆三丁氧基(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、铪丁氧基三(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、铪二丁氧基二(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、或铪三丁氧基(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)。

5.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种含金属的(甲基)丙烯酸酯的量为所述组合物的0.5重量％至20重量％。

6.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种完全酰亚胺化的聚酰亚胺聚合物的量为所述组合物的3重量％至40重量％。

7.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种催化剂包括光引发剂或热引发剂。

8.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种催化剂的量为所述组合物的0.25重量％至4重量％。

9.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种溶剂的量为所述组合物的35重量％至98重量％。

10.根据权利要求1所述的组合物，还包含至少一种交联剂。

11.根据权利要求10所述的组合物，其中，所述交联剂包含两个或更多个烯基或炔基。

12.根据权利要求1所述的组合物，还包含至少一种填料。

13.根据权利要求12所述的组合物，其中，所述至少一种填料包含选自以下组成的组的无机颗粒：二氧化硅、氧化铝、二氧化钛、氧化锆、氧化铪、CdSe、CdS、CdTe、CuO、氧化锌、氧化镧、氧化铌、氧化钨、氧化锶、钛酸钙、钛酸钠、硫酸钡、钛酸钡、锆酸钡和铌酸钾。

14.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述组合物形成介电膜，当通过激光烧蚀工艺图案化所述介电膜时，所述介电膜不产生碎屑。

15.一种介电膜，由权利要求1所述的组合物形成。

16.一种介电膜，包含：

a)至少一种完全酰亚胺化的聚酰亚胺聚合物；

b)至少一种含金属的(甲基)丙烯酸酯；和

c)至少一种催化剂。

17.根据权利要求16所述的介电膜，其中，所述介电膜是能自己立住的介电膜。