[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

层叠体，具有支承基板和设置在所述支承基板上的压电膜；

天线端子，设置在所述支承基板上，并与天线连接；

接地端子，直接设置在所述支承基板上，并与接地电位连接；

信号端子，设置在所述支承基板上，并与信号电位连接；

IDT电极，设置在所述压电膜上；以及

第一绝缘膜，设置在所述支承基板与所述信号端子之间，

所述层叠体具有由高声速材料构成的层和声反射层中的一者，所述高声速材料传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高，所述声反射层具有声阻抗相对低的低声阻抗层以及声阻抗相对高的高声阻抗层。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

还具备：第二绝缘膜，设置在所述支承基板与所述天线端子之间。

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在所述支承基板上直接设置有所述天线端子。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述层叠体具有：由所述高声速材料构成的层；以及低声速膜，设置在所述支承基板与所述压电膜之间，由传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速低的低声速材料构成。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

由所述高声速材料构成的层是所述支承基板。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

由所述高声速材料构成的层直接设置在所述支承基板上。

7.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述支承基板由Si构成。

8.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，还具备：

支承构件，具有开口部，设置在所述支承基板上，使得由所述开口部包围所述IDT电极；

覆盖构件，在所述支承构件上设置为覆盖所述开口部；

多个凸块下金属层，贯通所述覆盖构件以及所述支承构件，且与所述天线端子、所述信号端子以及所述接地端子分别连接；以及

多个凸块，与所述多个凸块下金属层分别接合。

9.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，还具备：

支承构件，具有开口部，设置在所述支承基板上，使得由所述开口部包围所述IDT电极；

覆盖构件，在所述支承构件上设置为覆盖所述开口部；以及

多个布线电极，与所述天线端子、所述信号端子以及所述接地端子分别连接，且经过所述支承构件的侧面到达所述覆盖构件。