[发明专利]自旋轨道转矩型磁化旋转元件、自旋轨道转矩型磁阻效应元件及磁存储器有效

专利信息
申请号: 201880004343.1 申请日: 2018-10-30
公开(公告)号: CN110392932B 公开(公告)日: 2023-09-26
发明(设计)人: 中田胜之;盐川阳平 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: H01L29/82 分类号: H01L29/82;H01F10/14;H01F10/16;H10N50/10;H10B99/00;H10N50/80;H10B61/00
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 自旋 轨道 转矩 磁化 旋转 元件 磁阻 效应 磁存储器
【权利要求书】:

1.一种自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,

具备:

自旋轨道转矩配线,其沿着第一方向延伸;和

第一铁磁性层,其层叠于所述自旋轨道转矩配线,

所述自旋轨道转矩配线包含化学计量组成中以XYZ或X2YZ表示的化合物,

在所述化合物为X2YZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含L21结构、B2结构、A2结构中的任意种的结构,

在所述化合物为XYZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含C1b结构、B2结构、A2结构中的任意种的结构,

所述化合物中,对于将X元素、Y元素及Z元素的最外层电子数相加得到的值,

在所述化合物的组成为XYZ的情况下为21以下,

在所述化合物的组成为X2YZ的情况下为27以下。

2.一种自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,

具备:

自旋轨道转矩配线,其沿着第一方向延伸;和

第一铁磁性层,其层叠于所述自旋轨道转矩配线,

所述自旋轨道转矩配线包含化学计量组成中以XYZ或X2YZ表示的化合物,

在所述化合物为X2YZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含L21结构、B2结构、A2结构中的任意种的结构,

在所述化合物为XYZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含C1b结构、B2结构、A2结构中的任意种的结构,

所述自旋轨道转矩配线为非磁性体。

3.根据权利要求1或2所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,

所述X为选自Fe、Co、Ni、Mn、Re、Ru、Os、Rh、Pd、Ir及Pt中的一种以上的元素,

所述Y为选自Ti、V、Cr、Mo、W、Ta、Mn、Re、Os、Zr、Nb、Hf、Ta、Zn、Cu、Ag、Au、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Fe、Ru、Tm、Yb及Lu中的一种以上的与所述X不同的元素,

所述Z为选自Al、Si、Ga、Ge、In、Sn、Sb、Pb、Mg、Sr及Bi中的一种以上的元素。

4.根据权利要求1所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,

在所述化合物为X2YZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含B2结构、A2结构中的任意种的结构,

在所述化合物为XYZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含B2结构、A2结构中的任意种的结构。

5.根据权利要求2所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,

所述化合物中,对于将X元素、Y元素及Z元素的最外层电子数相加得到的值,

在所述化合物的组成为XYZ的情况下为21以下,

在所述化合物的组成为X2YZ的情况下为27以下。

6.根据权利要求1或4所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,

所述自旋轨道转矩配线为反铁磁性体。

7.根据权利要求1或2所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,

所述化合物中的X元素、Y元素或Z元素包含周期表中的第五周期以上的元素。

8.根据权利要求1或2所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,

所述化合物在化学计量组成中以XYZ表示。

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