[发明专利]自旋轨道转矩型磁化旋转元件、自旋轨道转矩型磁阻效应元件及磁存储器有效
申请号: | 201880004343.1 | 申请日: | 2018-10-30 |
公开(公告)号: | CN110392932B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 中田胜之;盐川阳平 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | H01L29/82 | 分类号: | H01L29/82;H01F10/14;H01F10/16;H10N50/10;H10B99/00;H10N50/80;H10B61/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自旋 轨道 转矩 磁化 旋转 元件 磁阻 效应 磁存储器 | ||
1.一种自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,
具备:
自旋轨道转矩配线,其沿着第一方向延伸;和
第一铁磁性层,其层叠于所述自旋轨道转矩配线,
所述自旋轨道转矩配线包含化学计量组成中以XYZ或X2YZ表示的化合物,
在所述化合物为X2YZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含L21结构、B2结构、A2结构中的任意种的结构,
在所述化合物为XYZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含C1b结构、B2结构、A2结构中的任意种的结构,
所述化合物中,对于将X元素、Y元素及Z元素的最外层电子数相加得到的值,
在所述化合物的组成为XYZ的情况下为21以下,
在所述化合物的组成为X2YZ的情况下为27以下。
2.一种自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,
具备:
自旋轨道转矩配线,其沿着第一方向延伸;和
第一铁磁性层,其层叠于所述自旋轨道转矩配线,
所述自旋轨道转矩配线包含化学计量组成中以XYZ或X2YZ表示的化合物,
在所述化合物为X2YZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含L21结构、B2结构、A2结构中的任意种的结构,
在所述化合物为XYZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含C1b结构、B2结构、A2结构中的任意种的结构,
所述自旋轨道转矩配线为非磁性体。
3.根据权利要求1或2所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,
所述X为选自Fe、Co、Ni、Mn、Re、Ru、Os、Rh、Pd、Ir及Pt中的一种以上的元素,
所述Y为选自Ti、V、Cr、Mo、W、Ta、Mn、Re、Os、Zr、Nb、Hf、Ta、Zn、Cu、Ag、Au、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Fe、Ru、Tm、Yb及Lu中的一种以上的与所述X不同的元素,
所述Z为选自Al、Si、Ga、Ge、In、Sn、Sb、Pb、Mg、Sr及Bi中的一种以上的元素。
4.根据权利要求1所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,
在所述化合物为X2YZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含B2结构、A2结构中的任意种的结构,
在所述化合物为XYZ的情况下,所述自旋轨道转矩配线的主骨架为包含B2结构、A2结构中的任意种的结构。
5.根据权利要求2所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,
所述化合物中,对于将X元素、Y元素及Z元素的最外层电子数相加得到的值,
在所述化合物的组成为XYZ的情况下为21以下,
在所述化合物的组成为X2YZ的情况下为27以下。
6.根据权利要求1或4所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,
所述自旋轨道转矩配线为反铁磁性体。
7.根据权利要求1或2所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,
所述化合物中的X元素、Y元素或Z元素包含周期表中的第五周期以上的元素。
8.根据权利要求1或2所述的自旋轨道转矩型磁化旋转元件,其中,
所述化合物在化学计量组成中以XYZ表示。
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