[发明专利]改进的清洁检查系统

权利要求书

1.一种用于检查玻璃基板（S）的检查系统（100），包括用于供给所述玻璃基板的传送装置（102），适于清洁所述玻璃基板的第一表面的第一清洁装置（104）和用于捕获所述玻璃基板的经清洁表面的清洗后图像（I_P2）的第一视觉检查装置（103a），其特征在于，所述检查系统还包括适于清洁所述玻璃基板的第二表面的第二清洁装置（104）。

2.根据权利要求1所述的检查系统（100），其中，所述第二表面是与所述第一表面相反的表面。

3.根据权利要求1或2所述的检查系统（100），其中，所述第二清洁装置（104）包括产生气刀的至少一个空气喷射器。

4.根据权利要求1或2所述的检查系统（100），其中，所述第二清洁装置（104）还包括至少一个旋转刷。

5.根据权利要求3所述的检查系统（100），其中，产生气刀的所述空气喷射器使得气刀在与供给方向基本相反的方向上传播。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的检查系统（100），其中，所述第一清洁装置（104）包括产生气刀的至少一个空气喷射器。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的检查系统（100），其中，所述第一清洁装置（104）包括至少一个旋转刷。

8.根据权利要求6和7所述的检查系统（100），其中，所述第一清洁装置包括产生气刀的另一个空气喷射器，并且其中所述旋转刷在所述两个空气喷射器之间。