[发明专利]工件处理装置以及已处理工件的制造方法

权利要求书

1.一种工件处理装置，具备：

气化装置，具有：气化部，包含蓄热体而构成，该蓄热体与羧酸的气化对象液体相比，热容量大规定的比，以及供热器，向所述气化部供给热；

腔室，在内部进行工件的处理，所述腔室构成为，能够在所述气化装置中的供所述气化对象液体流动的流路与所述腔室的内部连通的状态下相对于外部气密；以及

真空泵，使所述腔室的内部以及供所述气化对象液体流动的流路的内部成为负压，

所述蓄热体构成为，在内部形成有供所述气化对象液体流动的流路即蓄热体流路，

所述规定的比，是在使所述气化对象液体向所述蓄热体流路流动而使所述气化对象液体以预定的比例气化时所需要的热量从所述蓄热体传递至所述气化对象液体时、所述蓄热体的温度降低成为预先决定的范围内的热容量的比。

2.一种工件处理装置，具备：

气化装置，具有:气化部，包括蓄热体而构成，所述蓄热体由金属的块形成，所述蓄热体构成为，通过对一体形成的所述块进行穿孔而在内部形成供羧酸的气化对象液体流动的流路即蓄热体流路，以及供热器，向所述气化部供给热；

腔室，在内部进行工件的处理，所述腔室构成为，能够在所述气化装置中的供所述气化对象液体流动的流路与所述腔室的内部连通的状态下相对于外部气密；以及

真空泵，使所述腔室的内部以及供所述气化对象液体流动的流路的内部成为负压。

3.如权利要求1或2所述的工件处理装置，其中，

所述供热器构成为，包括埋设在所述蓄热体中的埋设加热器。

4.如权利要求1或2所述的工件处理装置，其中，

所述气化部构成为，在所述气化对象液体的流动方向上的所述蓄热体的下游侧包括低热容量流路形成部件，所述低热容量流路形成部件是形成供所述气化对象液体流动的流路的部件，且热容量比所述蓄热体小，

所述供热器构成为，包括对所述低热容量流路形成部件进行加热的下游侧加热器。

5.如权利要求1或2所述的工件处理装置，其中，

所述蓄热体流路包括弯曲部而形成。

6.一种已处理工件的制造方法，是制造使用权利要求1至5中任一项所述的工件处理装置处理了的工件的方法，具备：

搬入工序，将所述工件搬入所述腔室的内部；

处理气体供给工序，将在所述气化装置中所述气化对象液体气化而生成的处理气体供给至所述腔室内；以及

工件处理工序，在所述腔室内，在所述处理气体的环境下对所述工件实施规定的处理，

所述规定的处理为，使载放在工件的上表面的焊料加热熔融而进行钎焊。