[发明专利]用于测试安装部件的晶片的混合探针卡在审
| 申请号： | 201880006397.1 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN110383078A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 朴宰勳;李在馥;任润昌 | 申请（专利权）人： | TEPS有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 蒋旭荣 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 安装部件 探针 探针组装体 电极垫 晶片 第一导向板 空间转换器 测试 测试区域 混合探针 晶片表面 组合形式 接触力 探针卡 三维 | ||
1.一种探针卡，用于测试具有未安装部件的第一区域和安装部件的第二区域的半导体晶片，其特征在于，包括：
多个第一探针，布置在所述第一区域的上方，与在所述第一区域中的测试电极相接触来传输电信号；
多个第二探针，布置在所述第二区域的上方，与在所述第二区域中所安装的所述部件上的测试电极相接触来传输电信号；
第一导向板，与所述半导体晶片相对布置，且形成有供所述第一探针和所述第二探针的各一端插入的多个探针孔；
第二导向板，布置在所述第一导向板的上方，且形成有供所述第一探针的各另一端插入的多个探针孔；及
第三导向板，布置在所述第一导向板的上方，且形成有供所述第二探针的各另一端插入的多个探针孔；
其中，在所述第一导向板中，在形成有供所述第二探针的一端插入的探针孔的区域上形成有相当于所述部件的高度的台阶，使得所述第一探针的一端与在所述第一区域中的测试电极之间的距离和所述第二探针的一端与所述第二区域中的所述部件上的测试电极之间的距离相同。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括：
探针PCB，形成有用于向所述第一探针和所述第二探针分配并传输电信号的信号布线；及
空间转换器，将来自在所述探针PCB上的信号布线的电信号重新分配来连接到所述第一探针和所述第二探针的各另一端；
其中，在所述空间转换器中，在与所述第三导向板相对的区域形成有台阶，使得从所述第二导向板露出的所述第一探针的另一端与在空间转换器上相对应的电接点之间的距离和从所述第三导向板露出的所述第二探针的另一端与在空间转换器上相对应的电接点之间的距离相同。
3.根据权利要求1或2所述的探针卡，其特征在于，所述第一探针和所述第二探针为弹簧式探针及屈曲式探针中任一种。
4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述第一探针和所述第二探针为相同类型的探针。
5.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述第一探针和所述第二探针为不同类型的探针。
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