[发明专利]液体供给系统在审
| 申请号： | 201880006941.2 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN110177943A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 森浩一;古田清隆 | 申请（专利权）人： | 伊格尔工业股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B43/08 | 分类号： | F04B43/08 |
| 代理公司： | 北京瑞盟知识产权代理有限公司 11300 | 代理人： | 刘昕;孟祥海 |
| 地址： | 日本国东京都港*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 止回阀 泵室 液体供给系统 空间形成 波纹管 流体 外周 线性传动器 装置大型化 驱动轴 轴部件 气穴 配置 | ||
1.一种液体供给系统，其特征在于，包括
容器，其内部包括泵室，并且设有流体的吸入口及送出口；
轴部件，在所述容器内沿垂直方向往返移动；
第一波纹管及第二波纹管，在所述容器内沿垂直方向排列配置，并随着所述轴部件的往返移动而伸缩；
第一泵室，由围绕所述第一波纹管的外周面的空间形成；
第二泵室，由围绕所述第二波纹管的外周面的空间形成；
第一止回阀，设置于通过所述第一泵室的流路上，防止流体的回流；以及
第二止回阀，设置于通过所述第二泵室的流路上，防止流体的回流；
其中，所述第一止回阀及所述第二止回阀均设置于所述容器上，配置于与驱动所述轴部件的传动器相对于所述轴部件相反的一侧。
2.根据权利要求1所述的液体供给系统，其特征在于，
所述第一止回阀包括承受从所述轴部件的中心轴线侧向径向外侧且水平方向流动的流体的压力并上升，从而打开阀门的圆环状的第一阀体；
所述第二止回阀包括承受从所述轴部件的中心轴线侧向径向外侧且水平方向流动的流体的压力并上升，从而打开阀门的圆环状的第二阀体。
3.根据权利要求1或2所述的液体供给系统，其特征在于，
所述第一止回阀及所述第二止回阀均在所述容器内同轴于所述轴部件配置。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的液体供给系统，其特征在于，
所述第一阀体的阀门开合部的直径与所述第二阀体的阀门开合部的直径相同。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的液体供给系统，其特征在于，
所述流体为超低温流体，所述容器与所述泵室之间为真空状态，所述传动器配置于空气中。
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