[发明专利]磁阻效应元件单元及磁阻效应元件装置有效
申请号: | 201880007669.X | 申请日: | 2018-01-15 |
公开(公告)号: | CN110235012B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 尾込智和;下畑贤司;井上甚;今村徹治;山口善纪;大门贵史 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;H01L43/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 周蓉;胡秋瑾 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁阻 效应 元件 单元 装置 | ||
本发明的目的在于,在磁阻效应元件单元(1)中减少每个各向异性磁阻效应元件(2)的复位电压。磁阻效应元件单元(1)包括:各向异性磁阻效应元件(2);以及导体的复位线(3),在与各向异性磁阻效应元件(2)的磁感应方向x'及易磁化方向y'双方正交的方向观察,该导体的复位线(3)通过各向异性磁阻效应元件(2)的中心,以与易磁化方向y'成45度角以下的角度从易磁化方向y'向倾斜的方向延伸,并与包含磁感应方向x'及易磁化方向y'的平面平行。在与磁感应方向x'及易磁化方向y'双方正交的方向观察,复位线(3)具有覆盖整个各向异性磁阻效应元件(2)的宽度。
技术领域
本发明涉及检测磁性图案的磁阻效应元件单元及磁阻效应元件装置。
背景技术
在利用各向异性磁阻效应元件的磁传感器中,元件被暴露在强磁场的情况下,可能会因元件的磁化方向紊乱而对输出产生影响。为了使元件的磁化方向朝向规定的方向,因此在测定前根据复位电流强制地使元件的磁化方向一致(非专利文献1)。
例如,专利文献1中记载了具有构成为桥式电路的磁场检测元件的集成型磁场检测单元。在专利文献1的集成型磁场检测单元中,第一螺旋状线圈具有设定/复位功能。第二线圈及第三线圈构成为产生可利用于试验、补偿、校正及反馈的磁场。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特表2001-516031号公报
非专利文献
非专利文献1:日立金属技报Vol.18(2002),P37-42
发明内容
发明所要解决的技术问题
专利文献1的集成型磁场检测单元作为复位线圈,具备在磁阻元件上从外周向中心沿顺时针方向卷绕的螺旋形状的导体。在专利文献1中,通过在复位线圈中让电流流动来产生朝向芯片中心部的方向的磁场,从而进行磁阻元件的复位。然而该结构中存在下述问题,即:与磁阻元件长度相比,需要使复位线圈的线宽变得足够小,并且由于将复位线圈配置成螺旋形状,因此复位线圈的图案电阻变大,为了让用于复位的电流流动,必须增加每个元件的复位电压。
为了解决上述那样的问题,本发明的目的在于减少每个各向异性磁阻效应元件的复位电压。
解决技术问题所采用的技术方案
本发明所涉及的磁阻效应元件单元包括:第一各向异性磁阻效应元件;导体的第一复位线,在与第一各向异性磁阻效应元件的磁感应方向及易磁化方向双方正交的方向观察,该导体的第一复位线通过第一各向异性磁阻效应元件的中心,以与易磁化方向成45度角以下的角度从易磁化方向向倾斜的方向延伸,并与包含磁感应方向及易磁化方向的平面平行,在与磁感应方向及易磁化方向双方正交的方向观察,第一复位线具有覆盖整个第一各向异性磁阻效应元件的宽度。并且包括第二各向异性磁阻效应元件,在包含第一各向异性磁阻效应元件的磁感应方向及易磁化方向的平面内,该第二各向异性磁阻效应元件与第一各向异性磁阻效应元件在与第一各向异性磁阻效应元件的第一复位线延伸的方向正交的方向上平行配置;以及导体的第二复位线,在与第一各向异性磁阻效应元件的磁感应方向及易磁化方向双方正交的方向观察,该导体的第二复位线通过第二各向异性磁阻效应元件的中心,与第一复位线平行,且具有覆盖整个第二各向异性磁阻效应元件的宽度,第一各向异性磁阻效应元件与第二各向异性磁阻效应元件进行桥接。
发明效果
根据本发明,包括复位线,在与各向异性磁阻效应元件的磁感应方向及易磁化方向双方正交的方向观察,该复位线通过各向异性磁阻效应元件的中心,以与各向异性磁阻效应元件的易磁化方向成45度角以下的角度向倾斜的方向延伸,由于复位线具有覆盖整个各向异性磁阻效应元件的宽度,因此能够对各向异性磁阻效应元件施加与复位线正交的方向的复位磁场,并能够减少每个各向异性磁阻效应元件的复位电压。
附图说明
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