[发明专利]用于多级罗茨型真空泵的转子

说明书

公开了用于多级真空泵的转子、多级真空泵和方法。该转子包括：多个旋转叶片，所述多个旋转叶片轴向地移位并且同轴地对准；一对端轴，每个端轴从所述多个旋转叶片的相对轴向端部延伸；以及叶片间轴，其在所述多个旋转叶片的相邻旋转叶片之间延伸，该叶片间轴具有大于端轴的直径的直径。以这种方式，设置在每个旋转叶片之间的叶片间轴可具有增大的直径，这改进了轴的刚度并且改变了转子的模态频率。模态频率的这种变化通常足以改进其操作。

技术领域

本发明涉及用于多级真空泵的转子、多级真空泵和方法。

背景技术

真空泵是已知的。这些泵通常用作用于将装置抽空的真空系统的部件。而且，这些泵用于将在例如生产半导体中所使用的制造装备抽空。不是使用单个泵在单个级中执行从真空到大气的压缩，而是已知提供多级真空泵，其中每个级执行从真空转变到大气压力所需的完整压缩范围的一部分。

虽然这种多级真空泵提供了优点，但它们也有其自身的缺点。因此，期望提供用于多级真空泵的改进装置。

发明内容

根据第一方面，提供了一种用于多级罗茨型真空泵的转子，其包括：多个旋转叶片，所述多个旋转叶片轴向地移位并且同轴地对准；一对端轴，每个端轴从所述多个旋转叶片的相对轴向端部延伸；以及叶片间轴，其在所述多个旋转叶片的相邻旋转叶片之间延伸，该叶片间轴具有大于端轴的直径的直径。

第一方面认识到，当提供布置在公共轴上的多个旋转叶片时，在相邻旋转叶片之间延伸的轴的直径可导致转子的模态频率足够接近转子的操作频率从而造成困难。因此，提供了用于真空泵的转子。该转子可以是由多级真空泵使用的罗茨型转子。该转子可具有多于一个的旋转叶片。每个所述旋转叶片可共用公共轴线，并且可共用公共轴。叶片可轴向地移位或分离并且同轴地或同心地对准。转子可设有一对端轴。这些端轴可从所述多个旋转叶片的相对或远侧轴向端部延伸或突出。可提供叶片间轴，其在相邻旋转叶片之间延伸或联接相邻旋转叶片。叶片间轴可构造有大于端轴的直径的直径。以这种方式，设置在每个旋转叶片之间的叶片间轴可具有增大的直径，这改进了轴的刚度并且改变了转子的模态频率。模态频率的这种变化通常足以改进其操作。

在一个实施例中，旋转叶片具有外摆线部分以及由周围内摆线面限定的中心内摆线部分，并且叶片间轴具有超过周围内摆线面的最接近距离的直径。因此，在罗茨型转子中，提供有外摆线部分（其限定转子的径向叶瓣）以及中心内摆线部分（其限定转子的径向内部部分）。叶片间轴的尺寸可设置成具有大于中心内摆线部分的直径的直径，这有助于加强转子并且改变转子的模态频率。

在一个实施例中，旋转叶片具有一对外摆线部分以及由相对内摆线面限定的中心内摆线部分，并且叶片间轴具有超过相对内摆线面的最接近距离的直径。

在一个实施例中，叶片间轴包括配合到在相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的套环。因此，可使用被配合到在相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的套环来实现叶片间轴的直径的增大。

在一个实施例中，内部轴和相邻旋转叶片是一体式的。因此，内部轴和旋转叶片可由单个一体式构件制成，而不是由不同的可附接的部件部分构成。

在一个实施例中，套环包括可分离部分。提供由可断接或断开部分制成的可分离或分开的套环使得更容易将套环配合到内部轴上。

在一个实施例中，套环包括一对可释放地固定的半圆柱体。所述半圆柱体一起形成具有所需直径的圆柱体。

在一个实施例中，其中，叶片间轴包括被配合到在相邻旋转叶片之间延伸的内部轴上的构件。因此，叶片间轴自身可通过配合到内部轴上的单独的构件延伸。

在一个实施例中，内部轴被轴向地刻面以接收所述构件，内部轴和所述构件协作以提供叶片间轴。因此，轴可在制造期间被刻面以便接收所述构件。