[发明专利]带有级间入口的多级涡轮分子泵

权利要求书

1.一种多级涡轮分子泵，包括：

较高真空级，其包括多个转子叶片排；

较低真空级，其包括与所述较高真空级的所述转子叶片排的直径相比具有较大直径的多个较大直径转子叶片排；

级间入口，其用于在所述较高真空级与所述较低真空级之间将气体输入所述涡轮分子泵，所述级间入口从所述泵的外圆周延伸至在所述较大直径转子叶片排的较大直径内侧的径向位置，并包括用于在轴向方向上引导所述气体进入所述泵的气体引导构造；其中：

所述转子叶片排中的每个转子叶片排具有多个转子叶片，级间入口转子叶片排是邻近所述级间入口的所述较低真空级的所述转子叶片排，所述级间入口转子叶片排的转子叶片具有与所述转子叶片的内部分的角度不同的所述转子叶片的外部分的角度，所述转子叶片的所述外部分的所述角度适于泵送在所述级间入口处接收的所述气体，所述内部分的所述角度适于泵送在所述较高真空级的入口处接收的所述气体。

2.根据权利要求1所述的多级涡轮分子泵，其中，所述级间入口包括所述气体引导构造和至少一个孔隙，所述至少一个孔隙在所述较大直径转子叶片排的较大直径与所述较高真空级的至少一个转子叶片排的直径之间位于所述泵的径向外部位置。

3.根据权利要求2所述的多级涡轮分子泵，其中，所述至少一个孔隙在大致与所述泵的轴线垂直的平面中。

4.根据权利要求2所述的多级涡轮分子泵，其中，所述泵包括位于围绕所述泵的圆周的不同位置的多个孔隙。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的多级涡轮分子泵，其中，所述气体引导构造的至少一部分包括大致轴向取向的表面。

6.根据权利要求5所述的多级涡轮分子泵，其中，所述气体引导构造包括从在所述泵的外圆周处的大致径向取向的表面变成在所述气体引导构造的径向最里面的点处的大致轴向取向的表面的表面。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的多级涡轮分子泵，其中，所述气体引导构造的至少一部分邻近所述较高真空级的一部分的外圆周或者由所述较高真空级的一部分的外圆周形成。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的多级涡轮分子泵，所述泵包括用于桥接在所述较高真空级中的较小直径的定子与所述较低真空级中的较大直径的定子之间的定子桥部件，所述定子桥部件包括在大致与所述泵的轴线垂直的平面中的环，所述环包括多个孔隙。

9.根据权利要求8所述的多级涡轮分子泵，其中，所述环的内径是所述较高真空级的定子的直径，并且所述环的外径是所述较低真空级中的所述定子的较大直径。

10.根据权利要求8所述的多级涡轮分子泵，其中，所述定子桥部件包括等于或大于两个相邻转子叶片排之间的距离并且等于或小于不相邻但由一个转子叶片排彼此分开的两个转子叶片排之间的距离的高度。

11.根据权利要求1至4中任一项所述的多级涡轮分子泵，其中，所述较高真空级内的所述转子叶片排中的至少一些转子叶片排具有不同的直径，朝着所述较低真空级的至少一个转子叶片排的直径小于离所述较低真空级更远的转子叶片排的直径。

12.根据权利要求11所述的多级涡轮分子泵，其中，所述较高真空级内的所述转子叶片排具有朝着所述较低真空级成锥形的直径。

13.根据权利要求2至4中任一项所述的多级涡轮分子泵，其中，所述级间入口转子叶片排的转子叶片在适于泵送在所述级间入口处接收的所述气体的部分与适于泵送在所述较高真空级的入口处接收的所述气体的部分之间具有几何形状的局部变化，所述几何形状的局部变化出现在所述转子叶片的小于所述转子叶片的半径的10%的长度上。