[发明专利]多级真空增压泵联接器

说明书

公开一种用于多级真空增压泵的级间联接器、一种真空泵和一种方法。用于多级真空泵的级间联接器包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由所述多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由所述多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：形成在所述第一联接面中的再循环入口孔口；形成在所述第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。以此方式，可以通过使所述出口孔口与所述入口孔口流体联接来减轻级中的压力，以便使积聚气体从所述第一级泵的一部分再循环到所述第一级泵的另一部分，以便减少转子上的应变。

技术领域

本发明涉及一种用于多级真空增压泵的级间联接器、一种真空泵和一种方法。

背景技术

已知真空泵。通常采用这些泵作为真空系统的部件来排空设备。而且，使用这些泵来排空例如在半导体的生产中使用的制造装备。不是使用单个泵在单个级中实施从真空到大气的压缩，而是已知提供多级真空泵，其中每一级实施从真空转变到大气压力所需的完整压缩范围的一部分。

虽然此类多级真空泵提供若干优点，但是其也具有其自己的缺点。因此，期望提供一种用于多级真空泵的经改进的布置。

发明内容

根据第一方面，提供一种用于多级真空泵的级间联接器，其包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：形成在第一联接面中的再循环入口孔口；形成在第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。

所述第一方面认识到多级真空泵的问题在于气体可能积聚在级的排放侧上，这在其转子上导致应力。由于例如当泵入口通气时所述级排放出比后续级可以处理的气体更多的气体，因此气体可能积聚。因此，设置一种级间联接器。所述级间联接器可以用于多级泵。所述泵可以是真空泵。所述联接器可以包括第一联接面。所述第一联接面可以被构造、布置或定尺寸成接收、接合或连接泵的相邻级以限定、关闭或密封所述相邻级。所述联接器可以包括第二联接面。所述第二联接面可以被构造、布置或定尺寸成接收、接合或连接泵的另一相邻级以限定、关闭或密封所述相邻级。可以提供所述级间联接器以联接具有单独的定子壳体的级或者可以使用所述级间联接器来将单个定子壳体分隔成若干单独的级。所述联接器还可以包括再循环器。所述再循环器可以限定形成或设置在第一联接面中的再循环入口孔口或开口。所述再循环器还可以限定也形成或设置在第一联接面中的再循环出口孔口。所述再循环器还可以包括具有再循环阀的再循环管道。所述再循环管道和再循环阀可以被构造或布置成使再循环入口孔口与再循环出口孔口选择性地联接。以此方式，可以通过使所述出口孔口与所述入口孔口流体联接来减轻级中的压力，以便使积聚气体从所述第一级泵的一部分再循环到所述第一级泵的另一部分，以便减少转子上的应变。

在一个实施例中，再循环器在第一联接面和第二联接面之间容纳在级间联接器内。因此，再循环器可以定位在级间联接器自身内，这实现特别紧凑且自容式的布置，并且最小化多级泵的复杂性。而且，在级之间设置再循环器使再循环器与泵周围的较冷环境条件隔离，并且在其中固体材料很可能从所泵送介质冷凝的应用中，通过再循环器中升高的温度来降低冷凝的风险，从而降低其变得不可移动且无效的风险。

在一个实施例中，第一和第二联接面中的每一者的至少一部分被构造为板以密封多级真空泵的相应相邻级的端部。因此，所述联接面可以密封相邻的级，从而充当其壳体的一部分。

在一个实施例中，再循环入口孔口被定位成用于与第一相邻级的排放部流体连通，并且再循环出口孔口被定位成用于与第一相邻级的入口流体连通。因此，再循环器可以接收第一相邻级的排放，并且可以使所述排放、或其至少一部分经由阀再循环到第一相邻级的入口，以便减小跨越转子的压力不平衡。