[发明专利]低温泵

说明书

本发明的低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件(30)，其与高温冷却台热连接且从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；及低温低温板部，其与低温冷却台热连接且被放射屏蔽件(30)包围，该低温低温板部具备多个低温板(60)及沿轴向排列成柱状的多个导热体(62)，并且多个低温板(60)及多个导热体(62)沿轴向层叠。

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。作为低温泵的应用之一，例如存在像离子注入工艺那样的例如氢气等非冷凝性气体占据应排出气体的大半部分的情况。关于非冷凝性气体，吸附于冷却至超低温的吸附区域方可被排出。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-237262号公报

专利文献2：日本特开2009-62890号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

本发明的一种实施方式的例示性的目的之一在于提高低温泵的排气性能。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一种实施方式，低温泵具备：制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，且其从低温泵进气口沿轴向延伸为筒状；及低温低温板部，其与所述低温冷却台热连接且被所述放射屏蔽件包围，该低温低温板部具备多个低温板及沿轴向排列成柱状的多个导热体，并且所述多个低温板及所述多个导热体沿轴向层叠。

另外，以上的构成要件的任意组合或在方法、装置、系统等之间相互替换本发明的构成要件或表现的方式也作为本发明的方式而有效。

发明效果

根据本发明，能够提高低温泵的排气性能。

附图说明

图1概略地表示实施方式所涉及的低温泵。

图2是示意地表示实施方式所涉及的第2级低温板总成的上部低温板的立体图。

图3是示意地表示实施方式所涉及的第2级低温板总成的下部低温板的俯视图。

图4是示意地表示实施方式所涉及的第2级低温板总成的上部结构的剖视图。

图5是示意地表示实施方式所涉及的第2级低温板总成的上部结构的立体分解图。

图6是示意地表示实施方式所涉及的第2级低温板总成的上部低温板的其他例子的俯视图。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。在说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在附图中适当设定各部的比例尺和形状，除非另有说明，其不作限定性解释。实施方式为示例，其并不对本发明的范围作任何限定。实施方式中记载的所有特征或其组合并不一定是发明的本质。

低温泵通常具备被制冷机的高温冷却台冷却的高温低温板部及被制冷机的低温冷却台冷却的低温低温板部。高温低温板部是为了从辐射热保护低温低温板部而设置的。低温低温板部包括多个低温板，这些低温板经由安装结构安装于低温冷却台。