[发明专利]微粒数检测器

说明书

提供一种微粒数检测器(10)，其具备陶瓷制的通气管(12)，在通气管(12)中具备：利用气体中放电而产生电荷的电荷产生元件(20)、电场产生电极(42)、捕集电极(44)、电场产生电极(52)、以及除去电极(54)。构成电荷产生元件(20)的诱电电极(24)埋设于通气管(12)。捕集用电场产生电极(42)及除去用电场产生电极(52)、捕集电极(44)、除去电极(54)、以及构成电荷产生元件(20)的放电电极(22)是沿着通气管(12)的内壁面而设置的。电荷产生元件(20)是沿着通气管(12)的内壁面而设置的。

技术领域

本发明涉及一种微粒数检测器。

背景技术

作为微粒数检测器，已知有如下微粒数检测器，即：在电荷产生元件中利用电晕放电而产生离子，利用该离子而使被测定气体中的微粒带电，并使用捕集电极来捕集带电的微粒，基于所捕集到的微粒的电荷量，来测定微粒的个数(例如参照专利文献1)。关于这种微粒数检测器，还提出了该微粒数检测器具有：将没有附加到微粒上的剩余电荷除去的除去电极。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/146456号小册子

发明内容

然而，在专利文献1中，虽然对没有附加到微粒上的电荷进行捕集的除去电极、以及对带电微粒进行捕集的捕集电极是沿着通气管的内壁面而形成的，但是，构成电荷产生元件的针状电极则需要自后方组装于壳体。另外，针状电极有时阻碍被测定气体的流动。此外，还存在微粒附着于针状电极的问题。

本发明是为了解决上述课题而完成的，其主要目的在于，提供一种能够容易地将通气管与各种电极制造成一体、并且电荷产生元件不会阻碍气体的流动、而且微粒不容易附着于电荷产生元件上的微粒数检测器。

本发明的微粒数检测器具备：

陶瓷制的通气管；

电荷产生元件，其具有利用气体中放电而产生电荷的一对电极，并使所述电荷附加于已被导入至所述通气管内的气体中的微粒，而成为带电微粒；

捕集电极，其设置于所述通气管中的比所述电荷产生元件更靠向所述气体流动的下游侧的位置，用于对所述带电微粒进行捕集；

捕集用电场产生电极，其使所述捕集电极上产生电场；

除去电极，其设置于所述通气管中的所述电荷产生元件与所述捕集电极之间的位置，用于将没有附加到所述微粒上的剩余所述电荷除去；

除去用电场产生电极，其使所述除去电极上产生电场；以及

个数检测机构，其基于根据所述捕集电极所捕集到的所述带电微粒的数量而发生变化的物理量，来检测所述带电微粒的数量，

构成所述电荷产生元件的所述一对电极中的一方、所述捕集电极、以及所述除去电极是沿着所述通气管的内壁面而设置的，

构成所述电荷产生元件的所述一对电极中的另一方、所述捕集用电场产生电极、以及所述除去用电场产生电极是沿着所述通气管的内壁面而设置的，或者被埋设于所述通气管。