[发明专利]音叉型压电振动片及使用该音叉型压电振动片的音叉型压电振子

说明书

各振动臂的正背的两主面电极通过贯通基部的正背面的各贯通电极而分别电性连接，并且各振动臂的正背的两主面电极的一主面电极通过以经过两振动臂之间的交叉部的方式形成的引绕配线而电性连接于侧面电极，通过该侧面电极而电性连接于两主面电极的另一主面电极。

技术领域

本发明涉及一种广泛用作钟表等的时钟源的音叉型压电振子。

背景技术

音叉型水晶振子成为例如图9所示的音叉形状的音叉型水晶振动片7(以下，简称为振动片7)通过接合材接合于上部开口的箱状的容器(省略图示)的内部并将所述容器的开口部分利用平板状的盖(省略图示)气密密封而成的构造。再者，为了便于说明，图9中，以振动片7的正背两个主面中的正面侧的主面进行说明。

如图9所示，振动片7具备：基部8；一对振动臂91、92，其自基部8的一端侧向同一方向延伸；及突出部9，其自基部8的另一端侧的一侧面朝向基部8的宽度方向(在图9中为水晶的相互正交的结晶轴X、Y、Z中的X轴方向)的一侧突出。在一对振动臂91、92各自的前端侧，形成有宽度较振动臂91、92的臂宽更大的宽幅部93、93。在该宽幅部93、93，形成有作为频率调整用配重件的金属膜W。

在振动片7形成有由异极所构成的第一激励电极11及第二激励电极12、以及自第一激励电极11与第二激励电极12的各者经由后述引绕电极而引出的引出电极13、14。在两振动臂91、92各自的正背主面，为了降低等效串联阻抗值(晶体阻抗值：CI值)而分别形成有长槽G。

在该图9中，形成于一振动臂91的正面侧的主面的第一激励电极11通过引出电极13而引出至基部8的通孔H3的周围。相对于此，形成于另一振动臂92的正面侧的主面的第二激励电极12通过引出电极14而引出至基部8的通孔H4的周围，并且自通孔H4的周围通过引出电极14而连接于形成于一振动臂91的外侧面的第二激励电极12。

在各振动臂91、92中，在包含构成宽幅部93、93的主面与侧面的全周，形成有用于将形成于与该宽幅部93、93连接的振动臂的外侧面与内侧面的同极的激励电极彼此电性连接的引绕电极(省略附图标记)。

因此，形成于一振动臂91的外侧面的第二激励电极12通过宽幅部93的全周的第二激励电极12而连接于形成于一振动臂91的内侧面的第二激励电极12。同样地，形成于另一振动臂92的外侧面的第一激励电极11通过宽幅部93的全周的第一激励电极11而连接于形成于另一振动臂92的内侧面的第一激励电极11。

在图9中，形成于一振动臂91的正面侧的主面的第一激励电极11仅引出至通孔H3的周围为止，相对于此，形成于另一振动臂92的正面侧的主面的第二激励电极12引出至通孔H4的周围，并且进而引出至一振动臂91的外侧面的第二激励电极12为止。

与表示该正面侧的主面的图9相反，在未图示的背面侧的主面中，形成于一振动臂91的背面侧的主面的第一激励电极11引出至通孔H3的周围，并且进而引出至另一振动臂92的外侧面的第一激励电极11为止，相对于此，形成于另一振动臂92的背面侧的主面的第二激励电极12仅引出至通孔H4的周围为止。

如此，形成于一振动臂91的正面侧的主面的第一激励电极11仅引出至形成有通孔H3的正面侧的通孔的周围为止。同样地，形成于另一振动臂92的背面侧的主面的第二激励电极12仅引出至通孔H4的周围为止。

各通孔H3、H4为在沿厚度方向贯通基部8的贯通孔的内壁面包覆有金属膜而成的贯通电极。

因此，形成于一振动臂91的正面侧的主面的第一激励电极11通过通孔H3而连接于形成于背面侧的主面的第一激励电极11，并且连接于另一振动臂92的外侧面及内侧面的第一激励电极11。

同样地，形成于另一振动臂92的背面侧的主面的第二激励电极12通过通孔H4而连接于形成于正面侧的主面的第二激励电极12，并且连接于一振动臂91的外侧面及内侧面的第二激励电极12。