[发明专利]臭氧产生装置

权利要求书

1.一种臭氧产生装置，其具备：

原料气体流入的容器；

第1金属电极，其是设置于所述容器内且以第1方向作为轴向的圆筒状的电极，并且向外周面供给冷却介质；

与所述第1金属电极的内周面相对地设置并且与所述第1金属电极同轴的圆筒状的电介质电极；

与所述电介质电极的内周面相对地设置并且具有导电性的热管；

设置于所述第1金属电极与所述热管之间的空间的外面的空间即外部并且与所述热管连接的散热器；和

电源部，其对所述热管施加电压，在所述第1金属电极与所述电介质电极之间原料气体流入的第1间隙及在所述电介质电极与所述热管之间原料气体流入的第2间隙中的至少一者的原料气体中放电，通过该放电而产生臭氧。

2.根据权利要求1所述的臭氧产生装置，其是在所述第1间隙及所述第2间隙这两者的原料气体中产生放电的装置，

其具有所述原料气体通过所述第2间隙后通过所述第1间隙的流路。

3.根据权利要求1或2所述的臭氧产生装置，其中，多根所述热管与1个所述电介质电极的内周面相对地沿所述第1方向并列设置。

4.根据权利要求1或2所述的臭氧产生装置，其中，所述散热器设置于所述容器内，并且在原料气体的流入方向上位于比所述第1间隙更靠上游侧。

5.根据权利要求4所述的臭氧产生装置，其中，在所述容器内，在原料气体的流入口附近，进一步具备将所述容器内的原料气体搅拌的搅拌部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的臭氧产生装置，其中，所述热管在其外周面具有沿所述第1方向延伸的螺旋状的槽。

7.根据权利要求4所述的臭氧产生装置，其中，原料气体向所述容器内的流入口的直径小于从所述容器内排出臭氧的排出口的直径。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的臭氧产生装置，其中，与所述容器内的多个所述电介质电极中的一部分所述电介质电极的内周面相对地设置与所述电介质电极同轴的圆筒状的第2金属电极来代替所述热管，原料气体向所述第1间隙及所述第2间隙内的流速比原料气体向第3间隙内的流速快，所述第3间隙是在所述第2金属电极与所述电介质电极或所述第1金属电极之间原料气体流入的第3间隙。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的臭氧产生装置，其中，所述容器为以所述第1方向作为轴向的圆筒状的容器，

原料气体向所述容器内的流入口按照原料气体沿着所述容器的内周面在周向上回转的方式设置。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的臭氧产生装置，其中，其进一步具备按照包围所述散热器的方式设置、并且具有朝向所述散热器排出原料气体的排出孔的原料气体管。

11.根据权利要求10所述的臭氧产生装置，其中，其在所述散热器与所述原料气体管之间进一步具备按照包围所述散热器的方式设置、并且向内部供给冷却介质的冷却用管。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的臭氧产生装置，其中，其进一步具备将设置有所述第1金属电极、所述电介质电极和所述热管的第1区域与设置有所述散热器的第2区域之间隔开的壁。

13.根据权利要求12所述的臭氧产生装置，其中，所述壁在其一端具有将所述第1区域与所述第2区域连接的连接孔，

所述容器在所述壁上在与设置有所述连接孔的端相反侧的端侧具有原料气体向所述容器内的流入口。

14.根据权利要求13所述的臭氧产生装置，其中，所述第1金属电极包含在其内周面侧没有设置所述电介质电极及所述热管的第3金属电极，

所述第2区域流入有通过所述第3金属电极的内部后的原料气体。