[发明专利]保持装置

权利要求书

1.一种保持装置，具备在厚度方向的一方具有主面的保持基板，并且在所述保持基板的内部配置有通过通电而发热的发热部，

所述保持装置的特征在于，

所述发热部具备：在与所述保持基板的厚度方向正交的平面方向上配置的多个第一发热体及在所述厚度方向上配置于比所述多个第一发热体靠所述一方的主面侧处的第二发热体，

所述多个第一发热体中的任一个第一发热体与所述第二发热体通过在所述保持基板内沿所述厚度方向延伸的第一通孔电串联连接而构成串联发热体，

所述保持基板在从所述厚度方向观察的俯视图中被划分为多个同心环且每个同心环被分成多个加热区段，并且在每个加热区段分别配置有1个所述串联发热体并且每个加热区段中的串联发热体的通电被独立地控制，通过控制各串联发热体的通电而能够独立地调节各加热区段的温度。

2.根据权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

在所述多个加热区段中的至少一个加热区段配置有所述多个第一发热体中的任一个第一发热体和所述第二发热体。

3.根据权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

所述保持装置具备与接受来自外部的电力的端子电连接的供电用导通部，并且所述供电用导通部具备：

与所述多个第一发热体中的任一个第一发热体电连接的供电用通孔；

与所述供电用通孔电连接且具有导电性的内部配线层；及

与所述内部配线层电连接并与所述端子电连接的端子侧通孔。

4.根据权利要求3所述的保持装置，其特征在于，

所述供电用导通部在所述保持基板中设于与所述一方的主面侧相反的另一方的主面侧。

5.根据权利要求3所述的保持装置，其特征在于，

在所述俯视图中，所述供电用通孔与所述第一通孔以至少一部分不重叠的方式配置。

6.根据权利要求4所述的保持装置，其特征在于，

在所述俯视图中，所述供电用通孔与所述第一通孔以至少一部分不重叠的方式配置。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的保持装置，其特征在于，

所述发热部具备在所述厚度方向上配置于与所述多个第一发热体及所述第二发热体不同的位置的第三发热体，

所述第二发热体与所述第三发热体通过沿所述厚度方向延伸的第二通孔而电串联连接，

所述第一通孔与所述第二通孔在所述俯视图中以至少一部分不重叠的方式配置。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的保持装置，其特征在于，

所述发热部具备在所述厚度方向上配置于与所述多个第一发热体及所述第二发热体不同的位置的第三发热体，

所述第二发热体与所述第三发热体通过沿所述厚度方向延伸的第二通孔而电串联连接，

在所述俯视图中，所述第一通孔与所述第三发热体以至少一部分重叠的方式配置，并且在所述俯视图中，所述第二通孔和所述多个第一发热体中的任一个第一发热体以至少一部分重叠的方式配置。

9.根据权利要求1～6中任一项所述的保持装置，其特征在于，

在所述俯视图中，所述多个第一发热体中的至少一个第一发热体具有配置于所述第一通孔的周围的第一部分和配置于与所述第一部分相比离所述第一通孔更远的部位的第二部分，所述第一部分的每单位面积的发热量比所述第二部分的每单位面积的发热量大。