[发明专利]成膜方法、成膜装置、元件结构体的制造方法及元件结构体的制造装置

权利要求书

1.一种成膜方法，通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，其中，

所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料的量的合计的气化累计量相应地减少，所述成膜条件为对每一张所述基板形成所述树脂材料膜的成膜时间或者喷雾到所述加热部的液状的树脂材料的每单位时间的供给量中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的成膜方法，

所述加热部具有倾斜面。

3.根据权利要求1所述的成膜方法，

所述树脂材料为紫外线硬化型丙烯酸树脂材料。

4.一种成膜装置，通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜装置具有：

供给管，与气化槽连接，并且将在成膜时气化的所述树脂材料供给到树脂成膜部；

外部管，与所述气化槽连接，并且将在非成膜处理时气化的所述树脂材料送出到所述树脂成膜部的外部；

记录部，用于记录包含供给到所述加热部的树脂材料的累计量在内的气化运转数据；和

控制部，通过参照所述气化运转数据，确定延长成膜时间的时间或者增加喷雾到所述加热部的所述液状的树脂材料的每单位时间的供给量的增加量中的至少一种，并且对所述供给管和所述外部管进行切换。

5.一种元件结构体的制造方法，包括：

第一工序，形成第一层，所述第一层覆盖配设在基板的一面上的功能层，并且具有局部凸部且由无机材料形成；

第二工序，通过以覆盖遮盖所述基板的一面侧的所述第一层的方式，对液状的树脂材料进行气化并供给，从而形成由所述树脂材料构成的树脂材料膜；

第三工序，从侧剖面观察所述第一层时，残留位于包括所述凸部的外侧面与所述基板的一面之间的边界部在内的位置上的所述树脂材料膜的一部分，并且去除位于与所述树脂材料膜所残留的位置不同的位置上的该树脂材料膜；和

第四工序，以覆盖残留的所述树脂材料膜的一部分和因所述树脂材料膜的去除而露出的所述第一层的方式，形成由无机材料构成的第二层，

在所述第二工序中，以补偿与经气化的所述树脂材料的气化持续时间相应地减少的所述树脂材料的方式，根据与经气化的所述树脂材料的供给时间对应的所述树脂材料的供给量，延长所述树脂材料膜的成膜时间。

6.根据权利要求5所述的元件结构体的制造方法，

在所述第二工序中的所述树脂材料膜的成膜处理时，将经气化的所述树脂材料供给到成膜室的内部，并且在所述树脂材料膜的非成膜处理时，将经气化的所述树脂材料送出到所述成膜室的外部，

得到将所述树脂材料的供给量作为所述树脂材料的气化量累计的累计量，并且根据所述累计量来控制所述树脂材料膜的成膜时间。

7.根据权利要求5或6所述的元件结构体的制造方法，

所述第三工序以在从侧剖面观察所述第一层时，所述凸部的外侧面中的包括顶部在内的区域露出的方式，去除所述树脂材料膜。

8.根据权利要求5或6所述的元件结构体的制造方法，

所述第三工序使用干式蚀刻法作为去除所述树脂材料膜的方法。

9.根据权利要求7所述的元件结构体的制造方法，

所述第三工序使用干式蚀刻法作为去除所述树脂材料膜的方法。

10.根据权利要求8所述的元件结构体的制造方法，

所述第三工序检测对所述树脂材料膜进行蚀刻处理的条件中的特定条件的变化，并且将检测出的检测结果用作该蚀刻处理的终点。

11.根据权利要求9所述的元件结构体的制造方法，

所述第三工序检测对所述树脂材料膜进行蚀刻处理的条件中的特定条件的变化，并且将检测出的检测结果用作该蚀刻处理的终点。

12.一种元件结构体的制造装置，具有：

第一层形成部，用于形成第一层，所述第一层覆盖配设在基板的一面侧的功能层，并且具有局部凸部且由无机材料构成；

树脂成膜部，能够供给树脂材料，从而形成覆盖所述第一层且由所述树脂材料构成的树脂材料膜，所述树脂材料是由通过加热液状的树脂材料而进行气化的气化器气化而得到的；

局部存在化处理部，从侧剖面观察所述第一层时，残留位于包括所述凸部的外侧面与所述基板的一面之间的边界部在内的位置上的所述树脂材料膜的一部分，并且去除位于与所述树脂材料膜所残留的位置不同的位置上的该树脂材料膜；

第二层形成部，以覆盖位于所述基板的一面侧的所述凸部、残留的所述树脂材料膜的一部分及因所述去除而露出的所述第一层的方式，形成由无机材料构成的第二层，

并且，所述元件结构体的制造装置具备：

供给管，与所述气化器所具备的气化槽连接，并且将在成膜时气化的所述树脂材料供给到所述树脂成膜部；

外部管，与所述气化槽连接，并且将在非成膜处理时气化的所述树脂材料送出到所述树脂成膜部的外部；和

切换阀，用于对所述供给管和所述外部管进行切换，

所述元件结构体的制造装置具有控制部，所述控制部以补偿与气化持续时间相应地减少的所述树脂材料的方式，根据与经气化的所述树脂材料的供给时间对应的所述树脂材料的供给量，延长所述树脂材料膜的成膜时间。