[发明专利]可调整流量喷嘴系统

说明书

本文描述可调整流量喷嘴系统的各个实施例，所述可调整流量喷嘴系统具有歧管，所述歧管具有多个可调整流量喷嘴，在所述可调整流量喷嘴中，可以个别地调整每一可调整流量喷嘴的流动速率。

技术领域

本公开涉及一种可调整流量喷嘴系统且确切地说涉及一种可调整流量喷嘴系统，其通过使重叠布置的至少两个开口相对于彼此选择性地旋转以建立通过每一个别流量喷嘴的非零最小流动速率到最大流动速率来调整由每一可调整流量喷嘴形成的整个开口的截面面积。

背景技术

半导体处理涉及从硅晶片的表面选择性移除聚合物或金属。这通过在一批晶片上喷涂酸或溶剂等各种化学品来实现。影响移除速率的许多因素中的一个是通过喷射嘴的液体的流动速率和体积。目前，通过调整一次流入歧管中所有喷射嘴的流量，在“宏观”水平上完成通过每一喷射嘴的流量调整。可如所描述改变个别喷射嘴，但此对每一喷射嘴的个别调整是费时的，且无法精确地调整通过每一相应喷射嘴的液体的流量。

附图说明

图1是根据本发明的一个方面的展示可调整流量歧管的可调整流量喷嘴系统的透视图；

图2是根据本发明的一个方面的在分解视图中展示可调整流量喷嘴的可调整流量歧管的透视图；

图3是根据本发明的一个方面的可调整流量歧管的侧视图；

图4是根据本发明的一个方面的展示密封相应出入开口的多个柱塞的可调整流量歧管的俯视图；

图5是根据本发明的一个方面的展示多个可调整流量喷嘴中的一个的沿着图3的线5-5的可调整流量歧管的截面视图；

图6是根据本发明的一个方面的可调整流量歧管的歧管主体的透视图；

图7是图6的歧管主体的端视图；

图8是根据本发明的一个方面的沿着图7的线8-8截取的歧管主体的截面视图；

图9是根据本发明的一个方面的歧管主体的仰视图；

图10是根据本发明的一个方面的歧管主体的俯视图；

图11是根据本发明的一个方面的沿着图8的线11-11截取的放大截面视图；

图12是根据本发明的一个方面的喷嘴固持器的透视图；

图13是根据本发明的一个方面的图12中所展示的喷嘴固持器的相对透视图；

图14是根据本发明的一个方面的以虚线展示通道的喷嘴固持器的侧视图；

图15是根据本发明的一个方面的喷嘴固持器的部分截面视图；

图16是根据本发明的一个方面的喷嘴固持器的俯视平面图；

图17是根据本发明的一个方面的可调整流量喷嘴的固持器孔插入物的透视图；

图18是根据本发明的一个方面的固持器孔插入物的前视图；

图19是根据本发明的一个方面的固持器孔插入物的侧视图；

图20是根据本发明的一个方面的可调整流量喷嘴的歧管孔插入物的透视图；

图21是根据本发明的一个方面的歧管孔插入物的前视图；

图22是根据本发明的一个方面的歧管孔插入物的侧视图；

图23是根据本发明的一个方面的沿着图22的线23-23截取的歧管孔插入物的放大截面视图；

图24是根据本发明的一个方面的用以密封歧管主体的出入开口的柱塞的透视图；

图25是根据本发明的一个方面的图24的柱塞的侧视图；