[发明专利]用于电化学传感器的电极

权利要求书

1.用于生物传感器的电化学电极，所述电极包含：

（a）基底；

（b）在所述基底上制造的钯金属层，其中所述钯金属层具有不超过90 nm的厚度；和

（c）在所述钯金属层上制造的含氧化钯层，其中所述含氧化钯层具有不超过40 nm的厚度。

2.权利要求1的电化学电极，其中所述生物传感器是医用传感器。

3.权利要求2的电化学电极，其中所述医用传感器是血糖传感器。

4.权利要求1至3任一项的电化学电极，其中所述电极具有至少5 nm和/或不超过110nm的厚度。

5.权利要求1至3任一项的电化学电极，其中所述钯金属层具有至少4 nm和/或不超过80 nm的厚度。

6.权利要求1至3任一项的电化学电极，其中所述含氧化钯层具有至少0.5 nm和/或不超过30 nm的厚度。

7.权利要求1至3任一项的电化学电极，其中所述钯金属层溅射镀覆在所述基底上。

8.权利要求1至3任一项的电化学电极，其中所述含氧化钯层溅射镀覆在所述钯金属层上。

9.权利要求1至8任一项的电化学电极，其中所述钯金属层溅射镀覆在所述基底上，且所述含氧化钯层溅射镀覆在所述钯金属层上。

10.权利要求1至9任一项的电化学电极，其中所述钯金属层在基本上由惰性气体组成的第一气氛中溅射镀覆在所述基底上；

其中所述含氧化钯层在包含惰性气体和氧化剂的混合物的第二气氛中溅射在所述钯金属层上；并且其中所述氧化剂按分压计构成所述第二气氛的0.5至50%。

11.权利要求10的电化学电极，其中所述惰性气体是氩气。

12.权利要求10或11的电化学电极，其中所述氧化剂选自以下的一种或多种：氧气、臭氧和水。

13.权利要求10至12任一项的电化学电极，其中所述氧化剂是氧气，并且其中氧气按分压计构成所述第二气氛的1至20%。

14.权利要求10至13任一项的电化学电极，其中在所述钯金属层的溅射和所述含氧化钯层的溅射的过程中使用的溅射功率的比率为大约4:1。

15.权利要求1至14任一项的电化学电极，其中所述含氧化钯层具有不超过所述钯金属层的40%的厚度。

16.权利要求1至15任一项的电化学电极，其中所述基底包含聚合物膜。

17.权利要求1至16任一项的电化学电极，其中所述基底包含聚酯或聚碳酸酯。

18.权利要求1至17任一项的电化学电极，

其中在形成所述钯金属层和所述含氧化钯层的10天内，在经由巯基乙磺酸盐（MESA）镀膜程序在MESA中镀覆所述电极时，所述电极配置成在所述电极的外表面上接受通过1型MESA覆盖率测试所测定的MESA的特定的部分表面覆盖率（部分覆盖率A），

其中在形成所述钯金属层和所述含氧化钯层的90天后，在经由MESA镀覆程序在MESA中镀覆所述电极时，所述电极配置成在所述电极的外表面上接受通过1型MESA覆盖率测试所测定的MESA的另外的部分表面覆盖率（部分覆盖率B），

其中所述部分覆盖率A与所述部分覆盖率B偏离不超过30%。

19.权利要求18的电化学电极，其中所述部分覆盖率A与所述部分覆盖率B偏离不超过20%。