[发明专利]电特性的检查夹具

权利要求书

1.一种电特性的检查夹具，具备：

柔性片；

贯通电极，在所述柔性片的一个面具有凹陷的凹部；以及

导电性弹性体，配置在所述贯通电极的凹部，

所述凹部的深度为所述柔性片的厚度的20～80％，

使探针从所述柔性片的另一个面抵接在所述贯通电极，检查电特性。

2.如权利要求1所述的电特性的检查夹具，其中，所述导电性弹性体从所述柔性片的一个面突出。

3.如权利要求1所述的电特性的检查夹具，其中，所述导电性弹性体从所述柔性片的一个面凹陷。

4.如权利要求1所述的电特性的检查夹具，其中，所述贯通电极具有向所述柔性片的另一个面突出的凸部。

5.如权利要求1所述的电特性的检查夹具，其中，所述贯通电极的凹部表面被金属镀层膜所包覆。

6.如权利要求1所述的电特性的检查夹具，其中，形成在所述柔性片的一个面的凹部的贯通电极面及侧面被金属镀层膜所包覆。

7.如权利要求1-6的任一项所述的电特性的检查夹具，其中，所述贯通电极的截面积从所述柔性片的一个面向另一个面增加。

8.如权利要求2所述的电特性的检查夹具，其中，所述导电性弹性体在弹性树脂中分散有导电性粒子，

所述导电性弹性体的突出高度为所述导电性粒子的50%以上且400%以下。

9.一种电特性的检查方法，包括：

粘贴工序，在检查对象物的电极面粘贴检查探针片，所述检查探针片具备柔性片、在所述柔性片的一个面具有凹陷的凹部的贯通电极、和配置在所述贯通电极的凹部的导电性弹性体，使所述导电性弹性体和所述检查对象物的电极接触；以及

检查工序，使探针从所述柔性片的另一个面抵接在贯通电极，检查电特性，

所述凹部的深度为所述柔性片的厚度的20～80％。

10.如权利要求9所述的电特性的检查方法，其中，在所述检查工序后，还具有剥离工序，从所述检查对象物剥离所述检查探针片。

11.如权利要求9或10所述的电特性的检查方法，其中，所述检查对象物为半导体装置。

12.如权利要求9-11的任一项所述的电特性的检查方法，其中，所述检查对象物的电极具有凸点，

所述导电性弹性体的凹陷深度为所述凸点高度的10%以上且90%以下。