[发明专利]高效能的低温铝电镀有效
申请号: | 201880011302.5 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN110291617B | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 大卫·W·格罗歇尔;刚·彭;罗伯特·米科拉 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/285 | 分类号: | H01L21/285;H01L21/02 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高效能 低温 电镀 | ||
1.一种沉积铝的方法,包括:
将由铝合金形成的制品定位在电沉积溶液中,所述电沉积溶液包含:
铝卤化物;
有机氯化物盐;和
铝还原剂;
利用惰性气体毯覆所述电沉积溶液;
搅拌所述电沉积溶液;
在设置于所述电沉积溶液中的电极与所述制品之间产生电流;和
将纯铝结晶层沉积至所述制品的一或多个表面上。
2.如权利要求1所述的方法,其中所述有机氯化物盐是氯化咪唑、1-丁基-3-甲基氯化咪唑、1-乙基-3-甲基氯化咪唑、1-(1-丁基)氯化吡啶、或上述材料的组合。
3.如权利要求2所述的方法,其中所述铝卤化物是AlF3、AlCl3、AlBr3、AlI3、或上述卤化物的组合。
4.如权利要求3所述的方法,其中铝卤化物的浓度介于1摩尔/升与3摩尔/升之间。
5.如权利要求3所述的方法,其中所述电沉积溶液进一步包括溶剂,所述溶剂是由乙腈、吡咯、丙腈、丁腈、吡啶、或上述溶剂的组合所组成。
6.如权利要求5所述的方法,其中所述电沉积溶液中的铝卤化物的浓度介于1摩尔/升与5摩尔/升之间。
7.如权利要求1所述的方法,其中所述铝还原剂是LiAlH4、二异丁基铝氢化物、三甲基铝氢化物、三乙基铝氢化物,或上述氢化物的组合。
8.如权利要求5所述的方法,其中所述电沉积溶液中的所述铝还原剂的浓度介于0.1摩尔/升与0.5摩尔/升之间。
9.如权利要求1所述的方法,其中所述电沉积溶液进一步包含碱金属卤化物,其中碱金属卤化物的浓度介于0.1摩尔/升与0.5摩尔/升之间。
10.如权利要求9所述的方法,其中所述碱金属卤化物是KF。
11.如权利要求1所述的方法,其中沉积所述纯铝结晶层包括:施加偏压电压至所述制品,所述偏压电压介于1伏特至100伏特之间。
12.如权利要求11所述的方法,其中所述偏压电压为脉冲式。
13.如权利要求11所述的方法,其中所述电极与所述制品之间的电流的极性是交替的。
14.如权利要求1所述的方法,其中铝沉积速率大于每小时3 µm。
15.一种沉积铝的方法,包括:
将铝合金制品定位在电沉积设备中,所述电沉积设备含有电沉积溶液,所述电沉积溶液包含:
AlCl3,其中所述AlCl3的浓度介于1摩尔/升与5摩尔/升之间;
有机氯化物盐;
铝还原剂,其中所述铝还原剂的浓度介于0.1摩尔/升与0.5摩尔/升之间;和
溶剂;
将介于1伏特与100伏特之间的偏压电压施加至所述铝合金制品;和
在所述铝合金制品上沉积纯铝结晶层。
16.如权利要求15所述的方法,其中所述有机氯化物盐是1-丁基-3-甲基氯化咪唑、1-乙基-3-甲基氯化咪唑、1-(1-丁基) 氯化吡啶、或上述材料的组合。
17.如权利要求15所述的方法,其中所述铝还原剂是LiAlH4、二异丁基铝氢化物、三甲基铝氢化物、三乙基铝氢化物,或上述物质的组合。
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