[发明专利]超低温制冷机

权利要求书

1.一种超低温制冷机，其特征在于，具备：

冷头，设置于旋转部；

阀单元，设置于将所述旋转部支承为能够旋转的旋转支承部；及

回转接头，为了从所述阀单元向所述冷头供给工作气体而将所述阀单元连接于所述冷头。

2.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

还具备可装卸的连接器，该可装卸的连接器将所述阀单元连接于所述回转接头。

3.根据权利要求1或2所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述冷头具备：置换器，能够沿轴向往复移动；缸体，容纳所述置换器且在所述缸体与所述置换器之间形成膨胀室；驱动活塞，以使所述置换器沿轴向驱动的方式连结于所述置换器；及驱动室，容纳所述驱动活塞，

所述阀单元构成为控制所述膨胀室和所述驱动室之间的压力差。

4.根据权利要求3所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述回转接头具备：

转子，与所述旋转部的旋转轴同轴配设且固定于所述旋转部；

定子，以在所述定子与所述转子之间形成间隙的方式与所述转子相邻配置且固定于所述旋转支承部；

第1气体流路，将所述驱动室连通于所述间隙；

第2气体流路，将所述膨胀室连通于所述间隙；

第1密封件，配置于所述间隙，从周围压力密封所述第1气体流路；及

第2密封件，配置于所述间隙，从所述第1气体流路密封所述第2气体流路。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述冷头具备：传感器，测定温度或压力；及无线发送部，发送所述传感器的输出信号，

所述超低温制冷机还具备无线接收部，该无线接收部设置于所述旋转支承部，并且接收所述传感器的输出信号。