[发明专利]基于MEMS的传感器套件在审
| 申请号： | 201880012869.4 | 申请日： | 2018-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN110392836A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 阮雄;大卫·T·陈;拉维夫·佩瑞希亚;罗根·D·索兰森 | 申请（专利权）人： | HRL实验室有限责任公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01C17/28;G01C19/5783;G01C21/16;G01R33/00;G01R33/02 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军;秦小耕 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁力计 多面体 加速度计传感器 三轴加速度计 传感器套件 传感器 三轴 轴向 加速度计 微机电 套件 | ||
1.一种MEMS传感器套件，其特征在于，包括：
三轴加速度计，其包括：
加速度计传感器多面体，其包括多个面；
多个轴向加速度计，其在所述加速度计传感器多面体的所述多个面中的三个面上；以及
三轴磁力计，其包括：
磁力计传感器多面体，其包括多个面；以及
多个轴向磁力计，其在所述磁力计传感器多面体的所述多个面中的三个面上。
2.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于：
所述加速度计传感器多面体是立方体，且
所述加速度计传感器多面体的所述三个面是三个相互正交的面。
3.根据权利要求2所述的MEMS传感器套件，其特征在于，所述三轴加速度计的所述立方体具有约1in3的体积。
4.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于：
所述磁力计传感器多面体是立方体，且所述磁力计传感器多面体的所述三个面是三个相互正交的面。
5.根据权利要求4所述的MEMS传感器套件，其特征在于，所述三轴磁力计的所述立方体具有约1in3的体积。
6.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于，所述多个轴向加速度计中的每一轴向加速度计具有约0.65英寸x0.65英寸的面积。
7.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于，所述多个轴向磁力计中的每一轴向磁力计具有约0.65英寸x 0.65英寸的面积。
8.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于，还包括：
三轴陀螺仪，其包括：
陀螺仪传感器多面体，其包括多个面；以及
多个轴向陀螺仪，其在所述陀螺仪传感器多面体的所述多个面中的三个面上。
9.根据权利要求8所述的MEMS传感器套件，其特征在于：
所述陀螺仪传感器多面体是立方体，且
所述陀螺仪传感器多面体的所述三个面是三个相互正交的面。
10.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于，所述加速度计传感器多面体包括柔性电路或软硬结合印刷电路板。
11.根据权利要求10所述的MEMS传感器套件，其特征在于，所述加速度计传感器立方体是所述软硬结合印刷电路板，且其中所述多个轴向加速度计通过信号布线电连接在一起，所述信号布线延伸通过所述软硬结合印刷电路板的柔性铰链。
12.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于，所述磁力计传感器多面体包括柔性电路或软硬结合印刷电路板。
13.根据权利要求12所述的MEMS传感器套件，其特征在于，所述磁力计传感器多面体是所述软硬结合印刷电路板，且其中所述多个轴向磁力计通过信号布线电连接在一起，所述信号布线延伸通过所述软硬结合印刷电路板的柔性铰链。
14.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于，还包括前端板，其中所述加速度计传感器多面体和所述磁力计传感器多面体安装在所述前端板上。
15.根据权利要求1所述的MEMS传感器套件，其特征在于，还包括所述加速度计传感器多面体的所述三个面上的多个电子组件，其中所述电子组件选自由信号放大器、滤波器和模/数转换器组成的电子组件的群组。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于HRL实验室有限责任公司，未经HRL实验室有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880012869.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
