[发明专利]带布线电极的基板的制造方法及带布线电极的基板有效
申请号: | 201880013377.7 | 申请日: | 2018-02-16 |
公开(公告)号: | CN110325952B | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 高濑皓平;水口创 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;G03F7/023;G03F7/20;G06F3/044 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 布线 电极 制造 方法 | ||
本发明提供具有微细图案、导电性优异、不易视认不透明布线电极的带布线电极的基板的制造方法。带布线电极的基板的制造方法,其包括下述工序:在透明基板的至少单面形成不透明布线电极的工序;在所述透明基板的单面涂布正型感光性组合物的工序;以及,以所述不透明布线电极为掩膜对所述正型感光性组合物进行曝光、显影,从而在与不透明布线电极对应的部位形成功能层的工序。
技术领域
本发明涉及具有透明基板、不透明布线电极以及功能层的带布线电极的基板的制造方法以及带布线电极的基板。此外,本发明涉及具有透明基板、布线电极以及遮光层的带布线电极的基板的制造方法以及带布线电极的基板。
背景技术
近年来,作为输入方法广泛使用触摸面板。触摸面板由液晶面板等显示部、用于检测在特定位置所输入的信息的触摸面板传感器等构成。触摸面板的方式根据输入位置的检测方法大致分为电阻膜方式、静电电容方式、光学方式、电磁感应方式、超声波方式等。其中,由于光学上明亮、设计性优异、结构简易以及功能性优异等原因,广泛使用着静电电容方式的触摸面板。静电电容方式的触摸面板传感器具有第一电极和隔着绝缘层正交的第二电极,通过对触摸面板面的电极施加电压、检测手指等导电体触摸时的静电电容变化而获得接触位置,将获得的接触位置作为信号输出。作为静电电容方式所使用的触摸面板传感器,例如已知在一对对置的透明基板上形成有电极及外部连接端子的结构、在一张透明基板的两面分别形成有电极及外部连接端子的结构等。作为触摸面板传感器所使用的布线电极,从不易看见布线电极的观点考虑,通常使用透明布线电极,但近年来,由于高灵敏度化、画面的大型化,使用了金属材料的不透明布线电极正广泛普及。
对于具有使用了金属材料的不透明布线电极的触摸面板传感器而言,存在由于不透明布线电极的金属光泽而能视认不透明布线电极的问题。作为使不透明布线电极不易被视认的方法,可以考虑通过金属的黑化处理来抑制反射。作为金属黑化处理液,提出了例如溶解有碲的盐酸溶液(例如,参考专利文献1)。此外,作为不易视认布线电极的触摸面板传感器,提出了下述触摸面板传感器,其具有透明基材、金属布线部以及具有包含微粒的低反射层的金属电极(例如,参见专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2006-233327号公报
专利文献2:日本特开2013-235315号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而,将专利文献1中记载的金属黑化技术应用于触摸面板传感器时,存在由于金属的氧化而不透明布线电极的导电性降低的问题。此外,专利文献2中记载的低反射层是由喷墨法形成的,存在微细加工较困难、由于金属布线部与低反射层的位置偏差而可视认布线电极的问题。本发明是鉴于上述实际情况而进行的,其目的在于提供具有微细图案、导电性优异、不易视认不透明布线电极、布线电极的带布线电极的基板的制造方法。
用于解决问题的方案
为了解决上述课题,本发明主要具有以下构成。
带布线电极的基板的制造方法,其包括下述工序:在透明基板的至少单面形成不透明布线电极的工序;在所述透明基板的单面涂布正型感光性组合物的工序;以及以所述不透明布线电极为掩膜,对所述正型感光性组合物进行曝光、显影,从而在与不透明布线电极对应的部位形成功能层的工序。
带布线电极的基板的制造方法,其包括下述工序:在透明基板的单面对遮光层进行图案形成的工序;在所述透明基板的单面涂布正型感光性导电性组合物的工序;以及以所述遮光层为掩膜,对所述正型感光性导电性组合物进行曝光、显影,从而在与遮光层对应的部位形成布线电极的工序。
发明的效果
根据本发明,可以得到具有微细图案、导电性优异、不易视认不透明布线电极、布线电极的带布线电极的基板。
附图说明
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