[发明专利]测量变化的方法、检查系统、计算机程序和计算机系统

权利要求书

1.一种在器件制造过程的步骤之后测量一图案在一个或多个衬底上的多个实例之间的变化的方法，包括：

接收表示一组图像的数据，每个图像表示所述图案的不同实例；

相对于彼此配准该组图像以叠加所述图案的实例；和

使用配准的该组图像来测量所述图案的变化，其中：

所述图案包括多个图案元素，并且该组图像的配准包括将不同的权重应用于所述多个图案元素中的两个或更多个，所述权重控制每个图案元素对该组图像的配准的贡献程度；并且

每个权重根据被应用所述权重的图案元素的预期变化而被确定。

2.根据权利要求1所述的方法，其中每个图案元素包括限定所述图案中的对象的边缘的全部或一部分。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述权重使得具有相对较高预期变化的图案元素对该组图像的配准贡献比具有较低预期变化的图案元素对该组图像的配准贡献小。

4.根据权利要求1所述的方法，其中使用描述用于创建所述图案的图案形成过程的模型来获得每个图案元素的预期变化。

5.根据权利要求4所述的方法，其中通过以不同的图案形成过程参数对每个图案元素进行建模，来获得该图案元素的预期变化。

6.根据权利要求4所述的方法，其中所述模型包括光刻过程的模型。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，使用在所述器件制造过程中限定所述图案元素的全部或一部分的光刻过程的空间图像强度的仿真斜率来生成一个或更多个所述权重中的每一个。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，基于所述图案元素的标称几何形状生成一个或更多个所述权重中的每一个。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，基于与所述图案元素相邻的图案环境的属性来生成一个或更多个所述权重中的每一个。

10.根据权利要求9所述的方法，其中每个图案元素形成所述图案中的对象的一部分，并且所述图案环境的属性包括在垂直于所述对象的边缘的方向上的长度，在该方向上不存在其它对象。

11.根据权利要求1所述的方法，其中：

该组图像的配准包括迭代过程，所述迭代过程至少涉及第一配准步骤以及随后的第二配准步骤，所述第一配准步骤和所述第二配准步骤各自包括使该组图像相对于彼此配准以叠加所述图案的实例；其中

至少第二配准步骤包括将不同的权重应用于所述多个图案元素中的两个或更多个，所述权重控制每个图案元素在第二配准步骤中对该组图像的配准的贡献程度；和

使用利用第一配准步骤的配准而确定的所述图案的变化生成在第二配准步骤中使用的一个或更多个所述权重。

12.根据权利要求1所述的方法，其中：

由边界框界定所接收的该组图像中的每个图像；

该组图像的配准包括基于所接收的该组图像的边界框之间的交集来为该组图像设置公共边界框；和

使用各个图像的公共边界框内的所有像素来执行该组图像的配准。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，该组图像的配准包括确定每个图像到公共参考图像的数学变换。