[发明专利]包括基板和透明导电层的电气设备及形成电气设备的方法在审

申请号：	201880013953.8	申请日：	2018-02-26
公开（公告）号：	CN110337716A	公开（公告）日：	2019-10-15
发明（设计）人：	塞巴斯蒂安·马里厄斯·萨拉奇;弗洛伦特·马丁;埃里克·乔恩·比约纳尔	申请（专利权）人：	SAGE电致变色显示有限公司
主分类号：	H01L21/768	分类号：	H01L21/768
代理公司：	北京集佳知识产权代理有限公司 11227	代理人：	高岩;杨林森
地址：	美国明***	国省代码：	美国;US
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摘要：
搜索关键词：	堆叠基板图案化电气设备运送高电阻区域透明导电层定制程序远程位置工艺流程灵活的延迟制造废弃开口储存客户制作
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【说明书】：

可以在对堆叠内的任何层进行图案化之前，形成与基板相邻的层的堆叠。在实施方式中，可以制作基板和堆叠的组合并且将基板和堆叠的组合储存很长一段时间，例如多于一周或一个月，或者在进一步制造发生之前将基板和堆叠的组合运送到远程位置。通过延迟不可逆转的图案化直到更接近最终产品将要被运送给客户的日期为止，可以基本上降低具有特定尺寸的过多存制或对在开始制造之后取消的定制程序不得不废弃窗的可能性。此外，可以避免堆叠的层之间的颗粒。所描述的工艺流程是灵活的，并且可以按照许多不同顺序来执行在形成孔、开口或高电阻区域时的许多图案化操作。

技术领域

本公开内容涉及电气设备，并且更具体地涉及包括基板和透明导电层的电气设备及形成电气设备的方法。

背景技术

电气设备可以包括：与电致变色设备的电极耦接的透明导电层；以及与透明导电层电连接的汇流条。当形成电致变色设备时，在基板上方沉积下透明导电层并对下透明导电层进行图案化，以防止汇流条彼此电短路或者具有不可接受的高泄漏电流。在对用于电致变色装置的层和上透明导电层进行沉积之前执行图案化。期望进一步提高包括电致变色设备的电子设备的制造。

附图说明

通过示例的方式对实施方式进行说明，并且实施方式不受附图的限制。

图1包括包含基板和层的堆叠的工件的部分的截面图的图示。

图2包括图1的工件的顶视图的图示，该图描绘了与可以由工件形成的不同电致变色设备对应的不同区域。

图3包括图2的工件的在形成穿过层的堆叠的孔之后的部分的顶视图的图示。

图4包括图3的工件沿剖面线4-4的部分的截面图的图示。

图5包括图3的工件沿剖面线5-5的部分的截面图的图示。

图6包括图3的工件在根据实施方式形成高电阻区域之后的部分的顶视图的图示。

图7包括图6的工件沿剖面线7-7的部分的截面图的图示。

图8包括图6的工件沿剖面线8-8的部分的截面图的图示。

图9包括图6的工件在形成切割道和开口之后的顶视图的图示。

图10包括图9的工件沿剖面线10-10的部分的截面图的图示。