[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 201880014096.3 申请日: 2018-01-19
公开(公告)号: CN110447102A 公开(公告)日: 2019-11-12
发明(设计)人: 小柳胜 申请(专利权)人: 东芝存储器株式会社
主分类号: H01L27/10 分类号: H01L27/10;G11C5/04;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 元件层 上表面 衬底 焊垫 通孔 半导体存储装置 电连接 制造成本 对向 对称
【权利要求书】:

1.一种半导体存储装置,具备:

第1衬底;

第1元件层,设置在所述第1衬底的上表面上;

第2衬底;及

第2元件层,设置在所述第2衬底的上表面上;且

所述第1衬底包含第1通孔,

所述第1元件层包含与所述第1通孔电连接且设置在所述第1元件层的上表面上的第1焊垫,

所述第2衬底包含第2通孔,

所述第2元件层包含与所述第2通孔电连接且设置在所述第2元件层的上表面上的第2焊垫,

所述第2元件层的上表面对向地设置在所述第1元件层的上表面上,

所述第1焊垫及所述第2焊垫相对于所述第1元件层及所述第2元件层相对向的面而对称地设置,且相互电连接。

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述1元件层还包含第1逻辑电路,该第1逻辑电路包含电连接于所述第1通孔的输入端、及电连接于所述第1焊垫的输出端,

所述2元件层还包含第2逻辑电路,该第2逻辑电路包含电连接于所述第2焊垫的输入端、及电连接于所述第2通孔的输出端。

3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述1元件层还包含第1逻辑电路,该第1逻辑电路包含电连接于所述第1焊垫的输入端、及电连接于所述第1通孔的输出端,

所述2元件层还包含第2逻辑电路,该第2逻辑电路包含电连接于所述第2通孔的输入端、及电连接于所述第2焊垫的输出端。

4.根据权利要求2或3所述的半导体存储装置,其中所述第1逻辑电路及所述第2逻辑电路是相对于所述第1元件层及所述第2元件层相对向的面而对称地设置。

5.根据权利要求2或3所述的半导体存储装置,其中所述第1逻辑电路及所述第2逻辑电路是相对于所述第1元件层及所述第2元件层相对向的面而非对称地设置。

6.根据权利要求5所述的半导体存储装置,其中所述第1元件层及所述第2元件层是由相同的布局图案而设置。

7.根据权利要求5所述的半导体存储装置,其中所述第1元件层及所述第2元件层是由不同的布局图案而设置。

8.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1元件层及所述第2元件层各个包含在彼此不同的核心芯片内。

9.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1元件层及所述第2元件层包含在同一核心芯片内。

10.根据权利要求1所述的半导体存储装置,还具备第3衬底、及设置在所述第3衬底的上表面上的第3元件层,

所述第3衬底包含第3通孔,

所述第3元件层包含与所述第3通孔电连接且设置在所述第3元件层的上表面上的第3焊垫,

所述第3衬底的下表面对向地设置在所述第2衬底的下表面上,

所述第2通孔及所述第3通孔是相对于所述第2衬底及所述第3衬底相对向的面而对称地设置,且相互电连接。

11.根据权利要求10所述的半导体存储装置,其中所述第2焊垫及所述第3焊垫是相对于所述第2衬底及所述第3衬底相对向的面而对称地设置。

12.根据权利要求11所述的半导体存储装置,还具备第4衬底、及设置在所述第4衬底的上表面上的第4元件层,

所述第4衬底包含第4通孔,

所述第4元件层包含设置在上表面上且与所述第4通孔电连接的第4焊垫,

所述第4元件层对向地设置在所述第3元件层的上表面上,

所述第3通孔及所述第4通孔是相对于所述第3元件层及所述第4元件层相对向的面而对称地设置,且相互电连接。

13.根据权利要求12所述的半导体存储装置,其中所述第1焊垫及所述第4焊垫是相对于所述第2衬底及所述第3衬底相对向的面而对称地设置。

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