[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 201880014096.3 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN110447102A | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 小柳胜 | 申请(专利权)人: | 东芝存储器株式会社 |
主分类号: | H01L27/10 | 分类号: | H01L27/10;G11C5/04;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 杨林勳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 元件层 上表面 衬底 焊垫 通孔 半导体存储装置 电连接 制造成本 对向 对称 | ||
1.一种半导体存储装置,具备:
第1衬底;
第1元件层,设置在所述第1衬底的上表面上;
第2衬底;及
第2元件层,设置在所述第2衬底的上表面上;且
所述第1衬底包含第1通孔,
所述第1元件层包含与所述第1通孔电连接且设置在所述第1元件层的上表面上的第1焊垫,
所述第2衬底包含第2通孔,
所述第2元件层包含与所述第2通孔电连接且设置在所述第2元件层的上表面上的第2焊垫,
所述第2元件层的上表面对向地设置在所述第1元件层的上表面上,
所述第1焊垫及所述第2焊垫相对于所述第1元件层及所述第2元件层相对向的面而对称地设置,且相互电连接。
2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述1元件层还包含第1逻辑电路,该第1逻辑电路包含电连接于所述第1通孔的输入端、及电连接于所述第1焊垫的输出端,
所述2元件层还包含第2逻辑电路,该第2逻辑电路包含电连接于所述第2焊垫的输入端、及电连接于所述第2通孔的输出端。
3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述1元件层还包含第1逻辑电路,该第1逻辑电路包含电连接于所述第1焊垫的输入端、及电连接于所述第1通孔的输出端,
所述2元件层还包含第2逻辑电路,该第2逻辑电路包含电连接于所述第2通孔的输入端、及电连接于所述第2焊垫的输出端。
4.根据权利要求2或3所述的半导体存储装置,其中所述第1逻辑电路及所述第2逻辑电路是相对于所述第1元件层及所述第2元件层相对向的面而对称地设置。
5.根据权利要求2或3所述的半导体存储装置,其中所述第1逻辑电路及所述第2逻辑电路是相对于所述第1元件层及所述第2元件层相对向的面而非对称地设置。
6.根据权利要求5所述的半导体存储装置,其中所述第1元件层及所述第2元件层是由相同的布局图案而设置。
7.根据权利要求5所述的半导体存储装置,其中所述第1元件层及所述第2元件层是由不同的布局图案而设置。
8.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1元件层及所述第2元件层各个包含在彼此不同的核心芯片内。
9.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1元件层及所述第2元件层包含在同一核心芯片内。
10.根据权利要求1所述的半导体存储装置,还具备第3衬底、及设置在所述第3衬底的上表面上的第3元件层,
所述第3衬底包含第3通孔,
所述第3元件层包含与所述第3通孔电连接且设置在所述第3元件层的上表面上的第3焊垫,
所述第3衬底的下表面对向地设置在所述第2衬底的下表面上,
所述第2通孔及所述第3通孔是相对于所述第2衬底及所述第3衬底相对向的面而对称地设置,且相互电连接。
11.根据权利要求10所述的半导体存储装置,其中所述第2焊垫及所述第3焊垫是相对于所述第2衬底及所述第3衬底相对向的面而对称地设置。
12.根据权利要求11所述的半导体存储装置,还具备第4衬底、及设置在所述第4衬底的上表面上的第4元件层,
所述第4衬底包含第4通孔,
所述第4元件层包含设置在上表面上且与所述第4通孔电连接的第4焊垫,
所述第4元件层对向地设置在所述第3元件层的上表面上,
所述第3通孔及所述第4通孔是相对于所述第3元件层及所述第4元件层相对向的面而对称地设置,且相互电连接。
13.根据权利要求12所述的半导体存储装置,其中所述第1焊垫及所述第4焊垫是相对于所述第2衬底及所述第3衬底相对向的面而对称地设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的