[发明专利]光检测装置

说明书

光检测装置具备：封装体，其设置有窗部；法布里‑珀罗干涉滤波器，其在封装体内，使自窗部入射的光透过；及光检测器，其在封装体内，检测透过了法布里‑珀罗干涉滤波器的光。法布里‑珀罗干涉滤波器具有：基板，其具有窗部侧的第1表面及光检测器侧的第2表面；第1层构造体，其配置于第1表面，设置有第1镜部及第2镜部；及透镜部，其一体地设置于第2表面侧，且将透过了第1镜部及第2镜部的光聚光于光检测器。

技术领域

本发明涉及一种具备法布里-珀罗干涉滤波器的光检测装置。

背景技术

已知有具备以下构件的光检测装置：封装体，其设置有窗部；法布里-珀罗干涉滤波器，其在封装体内，使自窗部入射的光透过；光检测器，其在封装体内，检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-211860号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在上述那样的光检测装置中，期望利用光检测器效率良好地检测透过法布里-珀罗干涉滤波器的光。特别是在使用泛用的光源并分析来自被测定物的反射光的情况下，由于反射光的光量容易变小，因而效率良好地检测光是重要的。

为了效率良好地检测光，考虑使用受光区域大的光电二极管等的光检测器。然而，若使用受光区域大的光检测器，则有在自光检测器输出的信号中噪声成分变大的担忧。

本发明的目的在于提供一种可实现高灵敏度且高精度的检测的光检测装置。

解决问题的技术手段

一个方面的光检测装置，具备：封装体，其设置有使光入射的窗部；法布里-珀罗干涉滤波器，其配置于封装体内，且使自窗部入射的光透过；及光检测器，其以与法布里-珀罗干涉滤波器分离的状态配置于封装体内，且检测透过了法布里-珀罗干涉滤波器的光；法布里-珀罗干涉滤波器具有：基板，其具有窗部侧的第1表面及光检测器侧的第2表面；第1层构造体，其配置于第1表面，设置有隔着空隙彼此相对且彼此的距离设为可变的第1镜部及第2镜部；及透镜部，其一体地设置于第2表面侧，且将透过了第1镜部及第2镜部的光聚光于光检测器。

在上述的光检测装置中，法布里-珀罗干涉滤波器具有将透过了第1镜部及第2镜部的光聚光于光检测器的透镜部。由此，即使使用受光区域小的光检测器，也能够使透过第1镜部及第2镜部的光效率良好地入射至该受光区域。即，使用受光区域小的光检测器，能够在自光检测器输出的信号中减少噪声成分，且效率良好地检测透过法布里-珀罗干涉滤波器的光。此处，若光检测器的受光区域变小，则针对透镜部相对于光检测器的位置(特别是垂直于光轴的方向上的位置)要求高精度。在上述的光检测装置中，由于透镜部位于第1镜部及第2镜部的后段，因而与透镜部位于第1镜部及第2镜部的前段的情况相比，透镜部与光检测器的距离变小，而缓和针对透镜部相对于光检测器的位置所要求的精度。另外，由于透镜部一体地设置于构成法布里-珀罗干涉滤波器的基板的第2表面侧，因而和透镜部与法布里-珀罗干涉滤波器分开地安装于支撑构件(例如，在封装体内，以法布里-珀罗干涉滤波器与光检测器分离的状态支撑法布里-珀罗干涉滤波器的支撑构件)的情况相比，透镜部相对于光检测器的位置不易产生偏移。根据以上内容，根据上述的光检测装置，可实现高灵敏度且高精度的检测。

在一个方面的光检测装置中，透镜部也可形成于基板中的第2表面侧的部分。在该结构中，由于在基板与透镜部之间不存在界面，因而能够抑制光学性损失，且能够防止透镜部的剥落等。另外，在半导体制造工艺中，能够高位置精度且容易地形成透镜部。

在一个方面的光检测装置中，透镜部也可直接或间接地设置于第2表面。根据该结构，与透镜部形成于基板的一部分的情况相比，能够提高法布里-珀罗干涉滤波器的应力均衡。另外，能够增大透镜部可采用的形状(透镜面的曲率等)的自由度。