[发明专利]在压印光刻工艺中配置光学层

权利要求书

1.一种配置光学层的压印光刻方法，所述压印光刻方法包括：

以这样的方式在衬底的一面的顶部上沉积第一组液滴，即所述第一组液滴不接触形成在所述衬底上的功能图案；

固化所述第一组液滴以形成与所述衬底的所述一面相关联的间隔层的第一部分；

在所述第一组液滴固化之后，在衬底的所述一面的顶部上沉积第二组液滴，使得第二组液滴中的每个液滴分别直接被分配在第一组液滴中的液滴的顶部上；以及

将第二组液滴直接固化在第一组液滴的顶部上以形成所述间隔层的第二部分，所述第二部分增加间隔层的高度，使得所述间隔层能够支承一表面，所述表面与所述衬底相邻并且在与所述功能图案间隔开的位置处跨越所述第一组液滴和第二组液滴，

其中，所述第一组液滴中的液滴的第一数量不等于所述第二组液滴中的液滴的第二数量，使得所述间隔层的高度是可变的。

2.根据权利要求1所述的压印光刻方法，其中，所述第一组液滴和第二组液滴中的每个液滴具有1pL至100pL的体积。

3.根据权利要求1所述的压印光刻方法，还包括生成按需滴落编程方案。

4.根据权利要求1所述的压印光刻方法，还包括提供印刷丝网，其中，所述压印光刻方法包括以下步骤：

(a)将印刷丝网定位在衬底之上并与衬底对齐，其中印刷丝网限定切口，以及

(b)将可聚合物质沉积在印刷丝网的顶面上，使得可聚合物质穿过切口并作为第一组液滴沉积在衬底的顶部上。

5.根据权利要求1所述的压印光刻方法，还包括在所述衬底上压印所述功能图案。

6.根据权利要求1所述的压印光刻方法，其中，将所述第一组液滴和第二组液滴沉积在所述衬底的一面的顶部上包括在所述衬底的所述一面的顶部上分配可聚合物质的液滴体积。

7.根据权利要求1所述的压印光刻方法，其中，所述压印光刻方法还包括：

将所述第一组液滴中的每个液滴直接沉积在所述衬底的所述一面上；以及

将所述第一组液滴直接固化在所述衬底的所述一面上。

8.根据权利要求7所述的压印光刻方法，其中，所述第一组液滴中的每个液滴具有0.5μm至20.0μm的固化高度。

9.根据权利要求1所述的压印光刻方法，其中，所述间隔层具有楔形形状。

10.根据权利要求1所述的压印光刻方法，其中，将所述功能图案压印在所述衬底的所述一面上。

11.根据权利要求10所述的压印光刻方法，其中，沿着所述衬底的所述一面的内部区域压印所述功能图案，所述压印光刻方法还包括沿着所述衬底的所述一面的外围边缘沉积所述第一组液滴和第二组液滴。

12.根据权利要求1所述的压印光刻方法，其中所述衬底的所述一面是所述衬底的第一面，并且其中将所述功能图案压印在所述衬底的与所述衬底的所述第一面相对的第二面上。

13.根据权利要求12所述的压印光刻方法，还包括在所述衬底的整个第一面上沉积所述第一组液滴和第二组液滴。

14.根据权利要求1所述的压印光刻方法，还包括在所述第二组液滴处将所述衬底附着到与所述衬底相邻的表面上，使得所述间隔层在所述衬底与所述表面之间形成间隙。

15.根据权利要求14所述的压印光刻方法，其中，所述间隙提供包括折射率为1的空气的区域。

16.根据权利要求14所述的压印光刻方法，还包括用可聚合材料填充所述间隙，所述可聚合材料的折射率在1.3-1.6的范围内。