[发明专利]通过等离子体蚀刻的高折射率玻璃的图案化

说明书

本文提供了用于在高折射率玻璃基板中形成例如用作波导的图案的等离子体蚀刻方法。该基板可以由具有大于或等于约1.65的折射率且具有小于约50wt％的SiO₂的玻璃形成。等离子体蚀刻方法可以包括化学和物理蚀刻组分。在一些实施例中，等离子体蚀刻方法可以包括：在高折射率玻璃基板的至少一部分上形成图案化的掩模层，以及将掩模层和高折射率玻璃基板暴露于等离子体以从基板的暴露部分去除高折射率玻璃。随后从高折射率玻璃基板去除任何剩余的掩模层。玻璃的去除在高折射率玻璃基板中形成例如衍射光栅的期望的图案化结构。

优先权声明

本申请要求2017年1月5日提交的美国临时申请No.62/442,809依据35U.S.C.§119(e)的优先权，其全部公开内容通过引用并入本文。

相关申请的交叉引用

本申请通过引用整体并入以下专利申请中的每一个：2014年11月27日提交的美国申请No.14/555,585；2015年7月23日公布作为美国公开No.2015/0205126；2015年4月18日提交的美国申请No.14/690,401，其于2015年10月22日公布作为美国公开No.2015/0302652；2014年3月14日提交的美国申请No.14/212,961，其现在作为2016年8月16日发布的美国专利No.9,417,452；以及2014年7月14日提交的美国申请No.14/331,218，其于2015年10月29日公布作为美国公开No.2015/0309263。

技术领域

本公开涉及显示系统，更具体地涉及用于在高折射率玻璃中使用的高折射率玻璃的高分辨率图案化。

背景技术

现代计算和显示技术促进了用于所谓的“虚拟现实”或“增强现实”体验的系统的发展，其中数字再现的图像或其部分以其看起来是真实的或者可被感知为真实的方式呈现给用户。虚拟现实(或者“VR”)场景通常涉及数字或虚拟图像信息的呈现，而对于其它实际的真实世界的视觉输入不透明；增强现实(或者“AR”)场景通常涉及数字或虚拟图像信息的呈现作为对用户周围的实际世界的可视化的增强。混合现实(或者“MR”)场景是一种AR场景并且通常涉及集成到自然世界中并响应于自然世界的虚拟对象。例如，MR场景可以包括AR图像内容，该AR图像内容看起来被真实世界中的对象阻挡或者被感知为与对象交互。

参考图1，示出了增强现实场景1。AR技术的用户看到以人、树木、背景中的建筑物和混凝土平台1120为特征的真实世界公园状设置1100。用户同样感知到他“看到”诸如站在真实世界平台1120上的机器人雕像1110以及飞过的卡通式化身角色1130的“虚拟内容”，该化身角色看起来是大黄蜂的化身。这些元素1130、1110是“虚拟的”，因为他们在真实世界中不存在。因为人类的视觉感知系统是复杂的，并且产生有助于连同其它虚拟或真实世界的图像元素一起的虚拟图像元素的舒适、自然、丰富呈现的AR技术是具有挑战性的。

本文公开的系统和方法解决了与AR和VR技术相关的各种挑战。

发明内容