[发明专利]电子测试器

权利要求书

1.一种测试装置，包括：

框架；

插槽组件，所述插槽组件设置在框架上；

插槽组件接口，所述插槽组件接口设置在所述插槽组件上；

保持结构，所述保持结构用于放置保持多个微电子器件的盒；

水平输送装置，所述水平输送装置可操作地将所述盒从第一位置水平移动到第二位置以进入所述插槽组件；

垂直输送装置，所述垂直输送装置可操作以使所述盒和所述插槽组件相对于彼此沿第一垂直方向移动，以使所述插槽组件接口与所述盒上的盒接口接合；

弹簧，所述弹簧连接在所述盒和所述插槽组件之间，所述盒和所述插槽组件在所述第一垂直方向上相对于彼此的移动引起所述弹簧抵抗其弹簧力的变形；

锁定机构，所述锁定机构接合以将所述盒和所述插槽组件锁定在所述弹簧变形的位置，其中，所述锁定机构包括：

控制杆，所述控制杆绕枢轴连接旋转；和

压力杆，所述压力杆具有连接到所述控制杆的第一连杆和连接到所述弹簧的第二连杆，其中所述控制杆从解锁位置旋转通过压缩位置到达锁定位置，在所述解锁位置，所述第一连杆位于将所述枢轴连接和所述第二连杆连接的线的第一侧上，在所述压缩位置，所述弹簧变形并且所述第一连杆与所述枢轴连接和所述第二连杆在一条直线上，在所述锁定位置，所述第一连杆位于所述线的与所述第一侧相对的第二侧上，和

测试器，所述测试器通过第一插槽组件接口和所述盒接口连接，以至少向每个微电子器件提供电力以测量微电子器件的性能，所述垂直输送装置可操作以使所述盒和所述插槽组件在第二垂直方向上相对于彼此移动，所述第二垂直方向与所述第一垂直方向相反，以使所述插槽组件接口与所述盒接口脱离，并且所述水平输送装置可操作以将所述盒从第二位置水平移动到所述插槽组件外部的第一位置。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，所述水平输送装置是滑动件。

3.根据权利要求1所述的测试装置，其中，当所述水平输送装置将所述盒移动到所述第二位置时，所述垂直输送装置由所述水平输送装置致动。

4.根据权利要求1所述的测试装置，其中，当所述水平输送装置将所述盒移动到所述第二位置时，所述控制杆的移动由所述水平输送装置致动。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其中，当将所述盒从所述第二位置移动到所述第一位置时，所述水平输送装置使所述控制杆从所述锁定位置旋转到所述解锁位置。

6.根据权利要求1所述的测试装置，其中所述弹簧是梁弹簧。

7.根据权利要求1所述的测试装置，还包括：

热卡盘，其中所述盒和所述插槽组件在所述第一垂直方向上相对于彼此的相对移动使所述热卡盘与所述盒接合，并且所述盒和所述插槽组件在所述第二垂直方向上相对于彼此的相对运动使所述热卡盘与所述盒脱离；和

至少一个温度调节装置，当操作时，至少一个所述温度调节装置导致所述热卡盘和所述盒之间的热传递。