[发明专利]MEMS换能器封装件

权利要求书

1.一种MEMS换能器封装件，包括：

一个衬底；

一个滤波器电路，用于对RF信号滤波，所述滤波器电路包括一个电阻器、一个电容器和一个电感器，其中所述滤波器电路布置为使得所述电阻器在可听频率范围内被电短路，并且所述电感器在感兴趣的无线电频率以上呈现开路；以及

一个集成无源设备芯片；其中

所述滤波器电路的部件中的至少一个被设置在所述集成无源设备芯片内；并且所述滤波器电路的所述电阻器和所述电容器中的至少一个设置在所述封装件衬底内。

2.根据权利要求1所述的MEMS换能器封装件，还包括电子电路系统，其中所述集成无源设备芯片被设置在所述换能器封装件的一个外部电连接和所述电子电路系统的一个输入/输出之间。

3.根据权利要求2所述的MEMS换能器封装件，其中所述电阻器被设置在所述换能器封装件的所述外部电连接和所述电子电路系统的所述输入/输出之间。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS换能器封装件，其中所述电感器与所述电阻器并联设置，并且所述电容器被设置在一个共用节点和一个低阻抗节点之间，所述共用节点被连接到所述电感器和所述电阻器。

5.根据权利要求4所述的MEMS换能器封装件，其中所述电感器和所述电阻器的特性被选择为使得电阻器-电感器电路的过渡频率位于所述可听频率范围以上并且位于所述感兴趣的无线电频率以下。

6.根据权利要求4所述的MEMS换能器封装件，其中所述电感器的值被选择为具有这样的阻抗，该阻抗在所述可听频率范围内大体上可忽略并且在所述感兴趣的无线电频率以上高于所述电阻器的阻抗。

7.根据权利要求5至6中任一项所述的MEMS换能器封装件，其中所述感兴趣的无线电频率是700MHz、850MHz、900MHz、1800MHz或1900MHz，和/或所述可听频率范围在20Hz和20kHz之间。

8.根据权利要求4所述的MEMS换能器封装件，其中所述电阻器的值是25Ω，所述电容器的值是50pF，并且所述电感器的电感值在30nH到300nH内。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS换能器封装件，还包括一个MEMS换能器，其中所述MEMS换能器包括麦克风。

10.根据权利要求9所述的MEMS换能器封装件，其中所述MEMS换能器包括一个柔性膜，所述柔性膜被配置为响应于所述柔性膜之间的压力差而偏转。

11.根据权利要求10所述的MEMS换能器封装件，所述MEMS换能器还包括一个背板，其中所述柔性膜相对于所述背板被支撑。

12.根据权利要求11所述的MEMS换能器封装件，其中所述背板包括一个背板电极，并且所述柔性膜包括一个膜电极。