[发明专利]用于测试测试样品的电特性的探针

权利要求书

1.一种用于测试测试样品的电特性的探针，所述探针包括：

-探针主体，所述探针主体具有限定基本上平坦的主体表面的第一侧面；

-第一悬臂，所述第一悬臂从所述探针主体延伸，并且具有在所述探针主体处的近端和与所述近端相对的远端，

所述第一悬臂相对于所述探针主体限定第一回路，所述第一回路分别在所述探针主体上的第一点处和第二点处开始和终止，所述第一回路在以方向偏离小于10°的基本上平行于所述平坦的主体表面的第一平面中延伸；

-由所述第一悬臂支撑的第一接触探针；

-与所述第一接触探针电绝缘的第二接触探针，

其特征在于：所述第二接触探针由所述第一悬臂支撑或由从所述探针主体朝向所述远端延伸的第二悬臂支撑，

所述第二悬臂相对于所述探针主体限定第二回路，所述第二回路在以方向偏离小于10°的基本上平行于所述第一平面的第二平面中延伸，并且

所述第二回路位于所述第一回路在所述第二平面上的投影内。

2.根据权利要求1所述的探针，包括从所述探针主体朝向所述远端延伸的第三悬臂，

所述第三悬臂相对于所述探针主体限定第三回路，所述第三回路在以方向偏离小于10°的基本上平行于所述第二平面的第三平面中延伸，

其中，所述第三回路位于所述第二回路在所述第三平面上的投影内。

3.根据权利要求2所述的探针，包括从所述探针主体朝向所述远端延伸的第四悬臂，

所述第四悬臂相对于所述探针主体限定第四回路，所述第四回路在以方向偏离小于10°的基本上平行于所述第三平面的第四平面中延伸，

其中，所述第四回路位于所述第三回路在所述第四平面上的投影内。

4.根据前述权利要求中任一项所述的探针，包括四个以上的悬臂。

5.根据权利要求1或2所述的探针，所述探针由单晶Si、多晶硅或SiO₂制成。

6.根据权利要求1或2所述的探针，所述探针包括在所述第一悬臂和所述探针主体之间的绝缘层。

7.根据权利要求1或2所述的探针，包括在所述第一侧面上的第一接触垫，所述第一接触探针经由第一电气线路连接到所述第一接触垫。

8.根据权利要求7所述的探针，包括在所述第一侧面上的第二接触垫，所述第二接触探针经由第二电气线路连接到所述第二接触垫。

9.根据权利要求1或2所述的探针，所述第一悬臂包括位于所述远端处的第一部段，其中，所述第一部段以90°±10°的基本上正交于所述第一平面延伸并构成第一横向突起。

10.根据权利要求9所述的探针，所述第一横向突起具有第一横截面，所述第一横截面具有在正交于所述第一平面的方向上的法线，所述第一横截面限定梯形或矩形的几何形状。