[发明专利]带有可移动位置幅材引导件的沉积系统

权利要求书

1.一种薄膜沉积系统，用于将材料沉积到基体(97)的幅材上，所述基体(97)的幅材沿着幅材传输路径(540)在沿轨道方向上行进，所述薄膜沉积系统包括：

幅材引导件系统(545)，所述幅材引导件系统(545)具有多个幅材引导件，多个幅材引导件为所述基体(97)的幅材限定了幅材传输路径(540)，所述幅材引导件系统(545)包括：

入口部分(548)；

出口部分(549)；以及

其特征在于可移动部分(505)，所述可移动部分(505)沿着所述幅材传输路径(540)在所述入口部分(548)与所述出口部分(549)之间，所述可移动部分(505)包括：

第一可移动位置幅材引导件(502)；以及

第二可移动位置幅材引导件(503)；

其中，所述幅材传输路径(540)导引所述基体(97)的幅材在大致恒定的幅材前进速度下穿过所述入口部分(548)，然后围绕所述第一可移动位置幅材引导件(502)，然后围绕所述第二可移动位置幅材引导件(503)，然后穿过所述出口部分(549)；

沉积头(30)，所述沉积头(30)用于在所述基体(97)的幅材移动越过所述沉积头(30)时将所述材料沉积到所述基体(97)的幅材的表面上，所述沉积头(30)沿着所述幅材传输路径(540)在所述第一可移动位置幅材引导件(502)与所述第二可移动位置幅材引导件(503)之间位于与所述基体(97)的幅材相邻的固定位置中；以及

运动致动器系统(520)，所述运动致动器系统(520)构造为使所述第一可移动位置幅材引导件(502)和所述第二可移动位置幅材引导件(503)的位置同步地移动，使得它们根据限定的振荡运动模式来在可移动部分运动方向(506)上向前和向后移动，同时在所述第一可移动位置幅材引导件(502)与所述第二可移动位置幅材引导件(503)之间维持恒定的距离，从而导致与所述沉积头(30)相邻的所述基体(97)的幅材的部分在沿轨道方向上向前和向后移动，以便提供与所述沉积头(30)相邻的所述基体(97)的幅材的复合运动轮廓，在其中，所述运动致动器系统(520)引起与所述沉积头(30)相邻的所述基体(97)的幅材的向前和向后移动，同时所述基体(97)的幅材沿着所述幅材传输路径(540)在大致恒定的幅材前进速度下移动，并且同时，所述沉积头(30)将材料提供到所述基体(97)的幅材的表面上，其中，所述基体(97)的幅材的向后移动在距离上小于所述基体(97)的幅材的向前移动；

其中，所述基体(97)的幅材在大致与所述可移动部分运动方向(506)相平行的方向上进入和离开所述第一可移动位置幅材引导件(502)和所述第二可移动位置幅材引导件(503)；并且

其中，所述基体(97)的幅材以大致等于180度的缠绕角来围绕所述第一可移动位置幅材引导件(502)缠绕，并且所述基体(97)的幅材以大致等于180度的缠绕角来围绕所述第二可移动位置幅材引导件(503)缠绕，围绕所述第一可移动位置幅材引导件(502)的缠绕角在角度上是这样的：在其中，所述基体(97)的幅材围绕所述第一可移动位置幅材引导件(502)缠绕，从到所述第一可移动位置幅材引导件(502)的入口位置到离开所述第一可移动位置幅材引导件(502)的出口位置，入口位置是其中所述基体首先接触所述第一可移动位置幅材引导件(502)，出口位置是所述基体与所述第一可移动位置幅材引导件(502)之间的最后接触点，并且围绕所述第二可移动位置幅材引导件(503)缠绕的 缠绕角在角度上是这样的：在其中，所述基体(97)的幅材围绕所述第二可移动位置幅材引导件(503)缠绕，从到所述第二可移动位置幅材引导件(503)的入口位置到离开所述第二可移动位置幅材引导件(503)的出口位置，入口位置是其中所述基体首先接触所述第二可移动位置幅材引导件(503)，出口位置是所述基体与所述第二可移动位置幅材引导件(503)之间的最后接触点；并且

其中，所述运动致动器系统(520)构造为：使所述第一可移动位置幅材引导件(502)和所述第二可移动位置幅材引导件(503)根据振荡运动模式移动，其中，基体点以两倍于所述第一可移动位置幅材引导件(502)和所述第二可移动位置幅材引导件(503)的位移距离来位移，基体点在基体(97)的幅材的部分处，在所述第一可移动位置幅材引导件(502)与所述第二可移动位置幅材引导件(503)之间，并且与所述沉积头(30)相邻。